[发明专利]一种热膨胀流三轴加速计及其加工方法在审
| 申请号： | 201910635444.5 | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN110244081A | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 朴林华;任安润;朴然;王灯山;王育新;田文杰 | 申请（专利权）人： | 北京信息科技大学 |
| 主分类号： | G01P15/08 | 分类号： | G01P15/08;G01P15/18 |
| 代理公司： | 北京邦创至诚知识产权代理事务所(普通合伙) 11717 | 代理人： | 张宇锋 |
| 地址： | 100192 北*** | 国省代码： | 北京;11 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种热膨胀流三轴加速计，包括：顶盖和底座；顶盖的底面上设置有向外延伸的凸缘，凸缘内设置有圆柱形上腔室，上腔室内设置有四根呈方形排布的绝缘子，四根所述绝缘子上设置有两根用于敏感Z轴方向加速度的热敏丝；所述底座的顶面设置有与所述凸缘相适配的凹槽，所述凹槽内设置有圆柱形下腔室，所述下腔室内设置有两两相对且平行的四对绝缘子，每对绝缘子上设置有一根热敏丝；用于敏感X轴方向和Y轴方向加速度的热敏丝中心设置有热源硅片，所述热源硅片通过绝缘子固定设置在所述下腔室内。本发明可以实现三轴加速度的测量。其结构简单、寿命长、抗冲击能力强、成本低，同时可抵抗外界环境的干扰和提高流体加速度计的灵敏度。 | ||
| 搜索关键词： | 绝缘子 热敏丝 凸缘 热膨胀 三轴加速计 顶盖 热源 室内 硅片 下腔 底座 抵抗外界环境 圆柱形上腔室 圆柱形下腔室 抗冲击能力 方形排布 固定设置 加速度计 两两相对 中心设置 敏感 灵敏度 顶面 流体 三轴 上腔 适配 有向 平行 测量 延伸 加工 | ||
【主权项】：
1.一种热膨胀流三轴加速计，其特征在于，包括：顶盖和底座；其中，所述顶盖的底面上设置有向外延伸的凸缘，所述凸缘内设置有圆柱形上腔室，所述上腔室内设置有四根呈方形排布的绝缘子，四根所述绝缘子上设置有两根用于敏感Z轴方向加速度的热敏丝，两根所述热敏丝平行设置；所述底座的顶面设置有与所述凸缘相适配的凹槽，所述凹槽内设置有圆柱形下腔室，所述下腔室内设置有两两相对且平行的四对绝缘子，每对绝缘子上设置有一根热敏丝，两对平行的热敏丝分别用于敏感X轴方向和Y轴方向的加速度；用于敏感X轴方向和Y轴方向加速度的热敏丝中心设置有热源硅片，所述热源硅片通过绝缘子固定设置在所述下腔室内；顶盖与底座对接连接后通过密封胶进行密封，二者对接后，上腔室和下腔室构成敏感腔室，且敏感Z轴方向加速度的热敏丝与敏感X轴方向和Y轴方向加速度的热敏丝在同一平面上。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于北京信息科技大学，未经北京信息科技大学许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910635444.5/，转载请声明来源钻瓜专利网。
