[发明专利]一种热膨胀流三轴加速计及其加工方法

权利要求书

1.一种热膨胀流三轴加速计，其特征在于，包括：顶盖和底座；其中，

所述顶盖的底面上设置有向外延伸的凸缘，所述凸缘内设置有圆柱形上腔室，所述上腔室内设置有四根呈方形排布的绝缘子，四根所述绝缘子上设置有两根用于敏感Z轴方向加速度的热敏丝，两根所述热敏丝平行设置；

所述底座的顶面设置有与所述凸缘相适配的凹槽，所述凹槽内设置有圆柱形下腔室，所述下腔室内设置有两两相对且平行的四对绝缘子，每对绝缘子上设置有一根热敏丝，两对平行的热敏丝分别用于敏感X轴方向和Y轴方向的加速度；

用于敏感X轴方向和Y轴方向加速度的热敏丝中心设置有热源硅片，所述热源硅片通过绝缘子固定设置在所述下腔室内；

顶盖与底座对接连接后通过密封胶进行密封，二者对接后，上腔室和下腔室构成敏感腔室，且敏感Z轴方向加速度的热敏丝与敏感X轴方向和Y轴方向加速度的热敏丝在同一平面上。

2.根据权利要求1所述的热膨胀流三轴加速计，其特征在于，敏感Z轴方向加速度的所述热敏丝为往复弯折的栅形结构，并通过MEMS工艺加工而成。

3.根据权利要求1所述的热膨胀流三轴加速计，其特征在于，敏感X轴方向加速度和敏感Y轴方向加速度的热敏丝由相同长度的Pt金属丝制成。

4.根据权利要求1所述的热膨胀流三轴加速计，其特征在于，敏感X轴方向加速度和敏感Y轴方向加速度的热敏丝相互垂直分布于热源硅片的外围，且与热源之间的距离是相等的。

5.根据权利要求1所述的热膨胀流三轴加速计，其特征在于，敏感X轴方向加速度和敏感Y轴方向加速度的热敏丝通过焊接连接在绝缘子的接线柱上，敏感Z轴方向加速度的热敏丝以及所述热源硅片通过导电胶粘接在绝缘子接线柱上。

6.一种加工权利要求1-5任一所述的热膨胀流三轴加速计的方法，其特征在于，所述方法包括如下步骤：

步骤一：用MEMS工艺，分别加工出热源硅片和敏感Z轴加速度的热敏丝；

步骤二：在顶盖和底座的相应位置钻直径与绝缘子尺寸相同的孔，将绝缘子安装在相应的孔内；

步骤三：通过焊接工艺，将敏感X轴方向加速度和敏感Y轴方向加速度的热敏丝焊接在绝缘子接线柱上；敏感Z轴加速度的热敏丝和热源硅片分别用导电胶粘接在绝缘子接线柱上；

步骤四：将制作好的顶盖和底座进行对接，形成热膨胀流三轴加速度计。