[发明专利]基板承载台及蒸镀设备在审
| 申请号： | 201910634528.7 | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN110205599A | 公开（公告）日： | 2019-09-06 |
| 发明（设计）人： | 陈营营;贾松霖 | 申请（专利权）人： | 云谷（固安）科技有限公司 |
| 主分类号： | C23C14/50 | 分类号： | C23C14/50;C23C14/24 |
| 代理公司： | 北京东方亿思知识产权代理有限责任公司 11258 | 代理人： | 娜拉 |
| 地址： | 065500 河*** | 国省代码： | 河北;13 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明公开了一种基板承载台及蒸镀设备，基板承载台包括：基台，包括支撑面，支撑面具有支撑区域和位于支撑区域外周的限位区域，支撑区域用于承载基板；定位组件，定位组件与基台连接并凸出于支撑面，定位组件与基台一并形成限位容纳部，基板能够设置于限位容纳部中，至少部分定位组件在支撑区域上具有第一极限位置，在限位区域具有第二极限位置，至少部分定位组件在第一极限位置及第二极限位置之间变换，以适应基板的尺寸。本发明提供的基板承载台及蒸镀设备能够使基板承载台能够对基板进行准确对位，减少对基板的损伤。 | ||
| 搜索关键词： | 基板承载台 定位组件 极限位置 支撑区域 蒸镀设备 支撑面 限位区域 对基板 基板 基台 限位 容纳 承载基板 基台连接 准确对位 外周 损伤 | ||
【主权项】：
1.一种基板承载台，其特征在于，包括：基台，包括支撑面，所述支撑面具有支撑区域和位于所述支撑区域外周的限位区域，所述支撑区域用于承载基板；定位组件，所述定位组件与所述基台连接并凸出于所述支撑面，所述定位组件与所述基台一并形成限位容纳部，所述基板能够设置于所述限位容纳部中，至少部分所述定位组件在所述支撑区域上具有第一极限位置，在所述限位区域具有第二极限位置，至少部分所述定位组件在所述第一极限位置及所述第二极限位置之间变换，以适应所述基板的尺寸。
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于云谷（固安）科技有限公司，未经云谷（固安）科技有限公司许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910634528.7/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 上一篇：一种带有安装基座的铣刀镀膜夹持工装
- 下一篇：一种耐高温双用途晶控仪
- 同类专利
- 专利分类
