[发明专利]一种双铰链式静电悬浮探针结构在审
| 申请号： | 201910634412.3 | 申请日： | 2019-07-15 |
| 公开（公告）号： | CN110515276A | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 王皓;望凯力;王广平;曹宇;吕嗣鸿 | 申请（专利权）人： | 电子科技大学 |
| 主分类号： | G03F7/20 | 分类号： | G03F7/20 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 611731 四川省成*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 针对某光刻机探针悬浮，提出一种双铰链式静电悬浮探针结构，使某光刻机探针在双弹性铰链层的辅助下与光刻机底部硅片实现静电悬浮。本发明包括光刻探针、上电极层、下电极层、中间双铰链层和悬浮控制系统，上下电极层结构完全相同且包括公共电极和控制电极两部分，利用上下电极层施加静电力，在中间双链层的辅助下，从而约束探针的x、y、θ、φ四个运动自由度，并可在z方向上调节悬浮位置，实现探针静电悬浮。 | ||
| 搜索关键词： | 探针 静电悬浮 光刻机 上下电极 悬浮控制系统 运动自由度 弹性铰链 公共电极 控制电极 双铰链式 探针结构 下电极层 悬浮位置 层结构 电极层 静电力 双铰链 硅片 光刻 双链 悬浮 施加 | ||
【主权项】：
1.一种双铰链式静电悬浮探针结构其特征在于包括上电极层(101)、双铰链层(102)、悬浮探针(103)、下电极层(104)和悬浮控制系统。/n
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