[发明专利]一种混合加热的沉积炉在审
| 申请号： | 201910614760.4 | 申请日： | 2019-07-09 |
| 公开（公告）号： | CN110514005A | 公开（公告）日： | 2019-11-29 |
| 发明（设计）人： | 周挺 | 申请（专利权）人： | 绵阳宸和电工科技有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D11/10;F27D19/00;F27D21/04;C04B35/83 |
| 代理公司： | 11399 北京冠和权律师事务所 | 代理人： | 张楠楠<国际申请>=<国际公布>=<进入 |
| 地址： | 621039 四川省绵*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种混合加热的沉积炉，包括：炉体，其内部设置有腔体；在炉体上侧壁设置有贯穿至腔体的出气口，在炉体下侧壁设置有贯穿至腔体的进气口；底座，设置于炉体底部；加热装置，设置于腔体内，用于对预制体进行加热；加热装置包括：感应加热装置和电阻加热装置；电阻加热装置包括：上电极和下电极，分别设置于预制体的上下两端，上电极向上伸出炉体，下电极向下伸出炉体，上电极和下电极分别与供电装置相连接；感应加热装置包括感应线圈，感应线圈套设于预制体外侧且不与预制体相接触，感应线圈由导线与设置于炉体外部的供电装置相连接。 | ||
| 搜索关键词： | 炉体 预制体 电极 下电极 腔体 电阻加热装置 感应加热装置 感应线圈 供电装置 加热装置 进气口 伸出 炉体下侧壁 混合加热 炉体外部 内部设置 上下两端 沉积炉 出气口 感应线 上侧壁 贯穿 底座 加热 圈套 体内 | ||
【主权项】：
1.一种混合加热的沉积炉，其特征在于，包括/n炉体，其内部设置有腔体；在所述炉体上侧壁设置有贯穿至所述腔体的出气口，在所述炉体下侧壁设置有贯穿至所述腔体的进气口；/n底座，设置于所述炉体底部；/n加热装置，设置于所述腔体内，用于对预制体进行加热；/n所述加热装置包括：感应加热装置和电阻加热装置；/n所述电阻加热装置包括：/n上电极和下电极，分别设置于预制体的上下两端，上电极向上伸出炉体，下电极向下伸出炉体，上电极和下电极分别与供电装置相连接；/n感应加热装置包括感应线圈，所述感应线圈套设于预制体外侧且不与预制体相接触，所述感应线圈由导线与设置于炉体外部的供电装置相连接。/n
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