[发明专利]一种混合加热的沉积炉

说明书

本发明提供了一种混合加热的沉积炉，包括：炉体，其内部设置有腔体；在炉体上侧壁设置有贯穿至腔体的出气口，在炉体下侧壁设置有贯穿至腔体的进气口；底座，设置于炉体底部；加热装置，设置于腔体内，用于对预制体进行加热；加热装置包括：感应加热装置和电阻加热装置；电阻加热装置包括：上电极和下电极，分别设置于预制体的上下两端，上电极向上伸出炉体，下电极向下伸出炉体，上电极和下电极分别与供电装置相连接；感应加热装置包括感应线圈，感应线圈套设于预制体外侧且不与预制体相接触，感应线圈由导线与设置于炉体外部的供电装置相连接。

技术领域

本发明属于碳/碳复合材料的致密生产制备领域，具体为一种混合加热的沉积炉。

背景技术

现有碳/碳复合材料的制备，是采用有化学气相沉积法(CVD)进行制备，化学气相沉积法(CVD)的具体实现装置为化学气相沉积炉，此类设备在生产过程中将预制体整体加热，工艺时间约持续400～800小时不等，将预制体骨架密度从0.3-0.8g/cm3提升到1.3g/cm3以上。

且现有化学气相沉积炉在加热部采取整体加热法，使预制体处于高温的部分恒温热梯度环境中，通过碳源气体对预制体致密。此方法生产周期长且能耗极大。

发明内容

本发明提供了一种混合加热的沉积炉，采用感应加热和电阻加热结合对预制体进行加热，使预制体在碳源气体中进行致密；完成时间是传统采取整体加热法的工作时间的1/20-1/30，极大程度提高工作效率，实现快速气相沉积

本发明提供了一种混合加热的沉积炉，包括

炉体，其内部设置有腔体；在所述炉体上侧壁设置有贯穿至所述腔体的出气口，在所述炉体下侧壁设置有贯穿至所述腔体的进气口；

底座，设置于所述炉体底部；

加热装置，设置于所述腔体内，用于对预制体进行加热；

所述加热装置包括：感应加热装置和电阻加热装置；

所述电阻加热装置包括：

上电极和下电极，分别设置于预制体的上下两端，上电极向上伸出炉体，下电极向下伸出炉体，上电极和下电极分别与供电装置相连接；

感应加热装置包括感应线圈，所述感应线圈套设于预制体外侧且不与预制体相接触，所述感应线圈由导线与设置于炉体外部的供电装置相连接。

在一个实施例中，下电极与所述炉体固定连接；所述上电极与所述炉体滑动连接，所述上电极可上下运动。

在一个实施例中，混合加热的沉积炉还包括控制系统，

所述控制系统包括：

控制器，设置在所述炉体外壁；

温度传感器，设置在所述腔体内，与所述控制器连接；

电子开关，与所述控制器连接，用于控制设置在所述出气口的抽风机的开启或关闭；

第一电磁阀，与所述控制器连接，设置在与所述进气口连接的第一气道上；

第二电磁阀，与所述控制器连接，设置在与所述进气口连接的第二气道上。

在一个实施例中，混合加热的沉积炉还包括：

通讯模块，与所述控制器连接；

服务器，通过所述通讯模块与所述控制器通讯连接；

报警装置，与所述服务器连接；

控制器通过温度传感器检测炉体内腔体的温度，并通过通讯模块将检测的温度发送到服务器，当温度超过预设值，服务器发送报警信号到所述报警装置，报警装置工作提醒工作人员。