[发明专利]一种混合加热的沉积炉

权利要求书

1.一种混合加热的沉积炉，其特征在于，包括

炉体，其内部设置有腔体；在所述炉体上侧壁设置有贯穿至所述腔体的出气口，在所述炉体下侧壁设置有贯穿至所述腔体的进气口；

底座，设置于所述炉体底部；

加热装置，设置于所述腔体内，用于对预制体进行加热；

所述加热装置包括：感应加热装置和电阻加热装置；

所述电阻加热装置包括：

上电极和下电极，分别设置于预制体的上下两端，上电极向上伸出炉体，下电极向下伸出炉体，上电极和下电极分别与供电装置相连接；

感应加热装置包括感应线圈，所述感应线圈套设于预制体外侧且不与预制体相接触，所述感应线圈由导线与设置于炉体外部的供电装置相连接。

2.如权利要求1所述的一种混合加热的沉积炉，其特征在于，所述下电极与所述炉体固定连接；所述上电极与所述炉体滑动连接，所述上电极可上下运动。

3.如权利要求1所述的一种混合加热的沉积炉，其特征在于，还包括控制系统，

所述控制系统包括：

控制器，设置在所述炉体外壁；

温度传感器，设置在所述腔体内，与所述控制器连接；

电子开关，与所述控制器连接，用于控制设置在所述出气口的抽风机的开启或关闭；

第一电磁阀，与所述控制器连接，设置在与所述进气口连接的第一气道上；

第二电磁阀，与所述控制器连接，设置在与所述进气口连接的第二气道上。

4.如权利要求3所述的一种混合加热的沉积炉，其特征在于，还包括：

通讯模块，与所述控制器连接；

服务器，通过所述通讯模块与所述控制器通讯连接；

报警装置，与所述服务器连接；

控制器通过温度传感器检测炉体内腔体的温度，并通过通讯模块将检测的温度发送到服务器，当温度超过预设值，服务器发送报警信号到所述报警装置，报警装置工作提醒工作人员。

5.如权利要求4所述的一种混合加热的沉积炉，其特征在于，还包括：

远程控制终端，与所述服务器通讯连接。