[发明专利]应用于真空室的片架传送机构在审
| 申请号: | 201910599083.3 | 申请日: | 2019-07-04 |
| 公开(公告)号: | CN110282329A | 公开(公告)日: | 2019-09-27 |
| 发明(设计)人: | 谷义伟;冯斌;李东滨;金浩;王德苗 | 申请(专利权)人: | 浙江大学昆山创新中心 |
| 主分类号: | B65G1/10 | 分类号: | B65G1/10 |
| 代理公司: | 南京纵横知识产权代理有限公司 32224 | 代理人: | 刘妍妍 |
| 地址: | 215347 江苏*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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| 摘要: | 本发明为真空镀膜领域,公开了一种应用于真空室的片架传送机构,包括滑块A、滑块B、传动杆A和传动杆B,所述传动杆A和传动杆B纵向平行放置,并分别穿过滑块A和滑块B,形成井字形;所述滑块A、滑块B、传动杆A和传动杆B位于工作腔体内,所述传动杆A与电机A连接,所述传动杆B与电机B连接。所述滑块A和滑块B上设置有传动杆螺孔和传动杆过度通孔。本发明通过控制传动杆A和B的转动,可以自由控制片架的传送速度和传送方向,由于其结构简单,配件少,在降低传动机构成本的同时,可提高传动机构的可靠性。 | ||
| 搜索关键词: | 传动杆 滑块 片架 传送机构 真空室 电机 传动杆螺 传送方向 真空镀膜 自由控制 纵向平行 工作腔 井字形 通孔 应用 转动 穿过 传送 配件 体内 | ||
【主权项】:
1.一种应用于真空室的片架传送机构,包括滑块A(1)、滑块B(2)、传动杆A(3)和传动杆B(4),其特征在于,所述传动杆A(3)和传动杆B(4)纵向平行放置,并分别穿过滑块A(1)和滑块B(2),形成井字形;所述滑块A(1)、滑块B(2)、传动杆A(3)和传动杆B(4)位于工作腔体(5)内,所述传动杆A(3)与电机A(6)连接,所述传动杆B(4)与电机B(7)连接;所述滑块A(1)和滑块B(2)上设置有传动杆螺孔(8)和传动杆过度通孔(9)。
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