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专利名称

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申请人
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农业化学；冶金建筑机械工程区域搜索

主分类

B 作业；运输

C 化学；冶金

D 纺织；造纸

E 固定建筑物

F 机械工程、照明、加热

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公布日期

2023-10-24 公布专利

2023-10-20 公布专利

2023-10-17 公布专利

2023-10-13 公布专利

2023-10-10 公布专利

2023-10-03 公布专利

2023-09-29 公布专利

2023-09-26 公布专利

2023-09-22 公布专利

2023-09-19 公布专利

专利权人

国家电网公司

华为技术有限公司

中兴通讯股份有限公司

三星电子株式会社

中国石油化工股份有限公司

鸿海精密工业股份有限公司

松下电器产业株式会社

上海交通大学

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[实用新型]应用于真空室的片架传送机构-CN201921034780.6有效
发明人： 谷义伟;冯斌;李东滨;金浩;王德苗 -专利权人：浙江大学昆山创新中心
申请日： 2019-07-04 - 公布日： 2020-04-17 - 主分类号： B65G1/10 文献下载
摘要：本实用新型为真空镀膜领域，公开了一种应用于真空室的片架传送机构，包括滑块A、滑块B、传动杆A和传动杆B，所述传动杆A和传动杆B纵向平行放置，并分别穿过滑块A和滑块B，形成井字形；所述滑块A、滑块B、传动杆A和传动杆B位于工作腔体内，所述传动杆A与电机A连接，所述传动杆B与电机B连接。所述滑块A和滑块B上设置有传动杆螺孔和传动杆过度通孔。本实用新型通过控制传动杆A和B的转动，可以自由控制片架的传送速度和传送方向，由于其结构简单，配件少，在降低传动机构成本的同时，可提高传动机构的可靠性。
应用于真空传送机构

[发明专利]应用于真空室的片架传送机构-CN201910599083.3在审
发明人： 谷义伟;冯斌;李东滨;金浩;王德苗 -专利权人：浙江大学昆山创新中心
申请日： 2019-07-04 - 公布日： 2019-09-27 - 主分类号： B65G1/10 文献下载
摘要：本发明为真空镀膜领域，公开了一种应用于真空室的片架传送机构，包括滑块A、滑块B、传动杆A和传动杆B，所述传动杆A和传动杆B纵向平行放置，并分别穿过滑块A和滑块B，形成井字形；所述滑块A、滑块B、传动杆A和传动杆B位于工作腔体内，所述传动杆A与电机A连接，所述传动杆B与电机B连接。所述滑块A和滑块B上设置有传动杆螺孔和传动杆过度通孔。本发明通过控制传动杆A和B的转动，可以自由控制片架的传送速度和传送方向，由于其结构简单，配件少，在降低传动机构成本的同时，可提高传动机构的可靠性。
传动杆滑块片架传送机构真空室电机传动杆螺传送方向真空镀膜自由控制纵向平行工作腔井字形通孔应用转动穿过传送配件体内

[发明专利]一种掩模板保护方法-CN201811362886.9在审
发明人：李东滨;吴疆;谷义伟;王德苗;金浩;冯斌 -专利权人：浙江大学昆山创新中心
申请日： 2018-11-16 - 公布日： 2019-02-12 - 主分类号： G03F1/48 文献下载
摘要：本发明公开了一种掩模板保护方法，包括：步骤一、准备全新的掩模板，并对其进行预处理；步骤二、在掩模板上沉积一层纳米薄膜；步骤三、将铝箔贴敷在掩模板外表面；步骤四、去除覆盖在掩模孔上的多余铝箔。采用本发明的掩模板保护方法对传统掩模板进行保护后，可通过更换铝箔实现掩模版的重复利用，从而大大降低掩模成本。
掩模板铝箔预处理传统掩模板纳米薄膜重复利用掩模版掩模孔贴敷掩模沉积去除覆盖

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