[发明专利]应用于真空室的片架传送机构在审

申请号：	201910599083.3	申请日：	2019-07-04
公开（公告）号：	CN110282329A	公开（公告）日：	2019-09-27
发明（设计）人：	谷义伟;冯斌;李东滨;金浩;王德苗	申请（专利权）人：	浙江大学昆山创新中心
主分类号：	B65G1/10	分类号：	B65G1/10
代理公司：	南京纵横知识产权代理有限公司 32224	代理人：	刘妍妍
地址：	215347 江苏***	国省代码：	江苏;32
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摘要：
搜索关键词：	传动杆滑块片架传送机构真空室电机传动杆螺传送方向真空镀膜自由控制纵向平行工作腔井字形通孔应用转动穿过传送配件体内
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【权利要求书】：

1.一种应用于真空室的片架传送机构，包括滑块A(1)、滑块B(2)、传动杆A(3)和传动杆B(4)，其特征在于，所述传动杆A(3)和传动杆B(4)纵向平行放置，并分别穿过滑块A(1)和滑块B(2)，形成井字形；所述滑块A(1)、滑块B(2)、传动杆A(3)和传动杆B(4)位于工作腔体(5)内，所述传动杆A(3)与电机A(6)连接，所述传动杆B(4)与电机B(7)连接；所述滑块A(1)和滑块B(2)上设置有传动杆螺孔(8)和传动杆过度通孔(9)。

2.根据权利要求1所述的一种应用于真空室的片架传送机构，其特征在于，所述滑块A(1)上的传动杆螺孔(8)供传动杆A(3)通过；所述滑块A(1)上的传动杆过度通孔(9)供传动杆B(4)通过；所述传动杆螺孔(8)内部设置有螺纹内丝，对应的传动杆A(3)在外表面设置有与传动杆螺孔(8)内表面螺纹内丝匹配的螺纹外丝。

3.根据权利要求1所述的一种应用于真空室的片架传送机构，其特征在于，所述滑块B(2)上的传动杆螺孔(8)供传动杆B(4)通过；所述滑块B(2)上的传动杆过度通孔(9)供传动杆A(3)通过；所述传动杆螺孔(8)内部设置有螺纹内丝，对应的传动杆B(4)在外表面设置有与传动杆螺孔(8)内表面螺纹内丝匹配的螺纹外丝。

4.根据权利要求1所述的一种应用于真空室的片架传送机构，其特征在于，所述滑块A(1)上的传动杆过度通孔(9)大于滑块A(1)上的传动杆螺孔(8)；所述滑块B(2)上的传动杆过度通孔(9)大于滑块A(1)上的传动杆螺孔(8)。

5.根据权利要求1所述的一种应用于真空室的片架传送机构，其特征在于，所述滑块A(1)和滑块B(2)上设置有凹槽(10)，所述凹槽(10)可容纳工作承载片架(11)通过。

6.根据权利要求1所述的一种应用于真空室的片架传送机构，其特征在于，所述滑块A(1)和滑块B(2)的凹槽(10)两侧设置有碰珠导向槽(12)。

7.根据权利要求1所述的一种应用于真空室的片架传送机构，其特征在于，所述滑块A(1)和滑块B(2)的凹槽(10)两侧每侧设置有3个碰珠导向槽(12)。

8.根据权利要求1所述的一种应用于真空室的片架传送机构，其特征在于，所述碰珠导向槽(12)内安装有碰珠(13)和弹簧(14)。

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