[发明专利]一种掩膜版精密再生工艺及其系统有效
| 申请号： | 201910589791.9 | 申请日： | 2019-07-02 |
| 公开（公告）号： | CN110449398B | 公开（公告）日： | 2020-05-01 |
| 发明（设计）人： | 王照忠;王宏宇;罗雪春;胡家铭;万长明 | 申请（专利权）人： | 成都拓维高科光电科技有限公司 |
| 主分类号： | B08B3/08 | 分类号： | B08B3/08;B08B3/10;B08B3/12;B08B3/02;B08B3/04;B08B5/02 |
| 代理公司： | 成都行之专利代理事务所(普通合伙) 51220 | 代理人： | 张严芳 |
| 地址： | 610000 四川省成都市中国（四川）自由*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种掩膜版精密再生工艺及其系统，解决了现有的掩膜版的一般清洗方法效率低下，对OLED掩膜版的精密再生效果不好，且无相应的成套系统来完成OLED掩膜版的高效精密再生的问题。本发明包括以下步骤：采用药液对掩膜版进行加热浸泡清洗，所述药液为有机酸或有机碱；采用纯水和压缩空气对步骤1处理后的掩膜版进行吹淋；采用纯水对步骤2处理后的掩膜版进行漂洗；采用易溶于水且易挥发醇对步骤3漂洗后的掩膜版进行漂洗；对步骤4处理后的掩膜版进行干燥。本发明具有对掩膜版的再生效果好，自动化程度高，效率高等优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 掩膜版 精密 再生 工艺 及其 系统 | ||
【主权项】：
1.一种掩膜版精密再生工艺，其特征在于，包括以下步骤：/n步骤1：采用有机酸或有机碱对掩膜版进行加热浸泡清洗；/n步骤2：采用纯水和压缩空气对步骤1处理后的掩膜版进行吹淋；/n步骤3：采用纯水对步骤2处理后的掩膜版进行漂洗；/n步骤4：采用易溶于水且易挥发醇对步骤3漂洗后的掩膜版进行漂洗；/n步骤5：对步骤4处理后的掩膜版进行干燥。/n
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