[发明专利]光致抗蚀剂面漆组合物及加工光致抗蚀剂组合物的方法在审
| 申请号： | 201910583165.9 | 申请日： | 2019-07-01 |
| 公开（公告）号： | CN110658678A | 公开（公告）日： | 2020-01-07 |
| 发明（设计）人： | I·考尔;刘聪;D·康;C·吴 | 申请（专利权）人： | 罗门哈斯电子材料有限责任公司 |
| 主分类号： | G03F7/004 | 分类号： | G03F7/004 |
| 代理公司： | 31100 上海专利商标事务所有限公司 | 代理人： | 陈哲锋;胡嘉倩 |
| 地址： | 美国马*** | 国省代码： | 美国;US |
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| 摘要： | 光致抗蚀剂面漆组合物包含：基质聚合物和表面活性聚合物，其中所述表面活性聚合物包含具有以下通式(I)的聚合单元： | ||
| 搜索关键词： | 表面活性聚合物 聚合单元 氢原子 烷基 环状结构 有机溶剂 半导体装置 光致抗蚀剂 基质聚合物 面漆组合物 总碳原子数 卤代烷基 卤素原子 氟烷基 亚烷基 总固体 制造 | ||
【主权项】：
1.一种光致抗蚀剂面漆组合物，其包含：/n基质聚合物和表面活性聚合物，其中所述表面活性聚合物包含具有以下通式(I)的聚合单元：/n
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