[发明专利]一种微电子封装器件界面强度蠕变测试装置在审
| 申请号： | 201910560478.2 | 申请日： | 2019-06-26 |
| 公开（公告）号： | CN110346209A | 公开（公告）日： | 2019-10-18 |
| 发明（设计）人： | 吴光华;蒋美仙;陈勇;兰秀菊;鲁建厦;裴植;王成;易文超 | 申请（专利权）人： | 浙江工业大学 |
| 主分类号： | G01N3/08 | 分类号： | G01N3/08;G01N3/04 |
| 代理公司： | 杭州天正专利事务所有限公司 33201 | 代理人： | 黄美娟;王兵 |
| 地址： | 310014 浙*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 一种微电子封装器件界面强度蠕变测试装置，包括：机架，具有一试验腔；固定机构，设置于机架的试验腔内，包括固定部和夹持机构，固定部底端安装在试验腔上；夹持机构固装于固定部顶端；蠕变测试机构，设置于机架的试验腔内，包括压力测试单元和位移测试单元，其中位移测试单元安装于控制机构的升降端，以测量被测器件接触表面的压力；位移测试单元安装于试验腔顶部，并且位移测试单元的测试端与压力测试单元相连；以及控制机构，包括控制单元和升降驱动单元。所述的升降驱动单元的控制端与所述的控制单元的信号输出端电连接。本发明的有益效果是：可对微电子封装器件在不同压力测试环境下的蠕变进行测试。 | ||
| 搜索关键词： | 试验腔 位移测试单元 微电子封装器件 蠕变测试 升降驱动单元 压力测试单元 夹持机构 固定部 固定部顶端 信号输出端 被测器件 固定机构 压力测试 测试端 电连接 控制端 升降端 底端 固装 蠕变 测量 测试 | ||
【主权项】：
1.一种微电子封装器件界面强度蠕变测试装置，其特征在于，包括：机架，具有一试验腔；固定机构，设置于机架的试验腔内，包括固定部和夹持机构，固定部底端安装在试验腔上；夹持机构固装于固定部顶端，用于夹紧被测器件；蠕变测试机构，设置于机架的试验腔内，包括压力测试单元和位移测试单元，其中位移测试单元安装于控制机构的升降端，以测量被测器件接触表面的压力；位移测试单元安装于试验腔顶部，并且位移测试单元的测试端与压力测试单元相连，用以测定位移测试单元的位移；以及控制机构，包括控制单元和升降驱动单元，其中控制模块、升降驱动单元悬装于机架的试验腔顶部，且升降驱动单元悬于被测器件正上方，用于带动压力测试单元升降；所述压力测试单元的信号传输端、所述位移测试单元的信号传输端分别与所述控制单元的信号传输端口电连接，而所述的升降驱动单元的控制端与所述的控制单元的信号输出端电连接。
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