[发明专利]一种导热片和等离子体处理装置有效
| 申请号： | 201910554422.6 | 申请日： | 2019-06-25 |
| 公开（公告）号： | CN112133621B | 公开（公告）日： | 2023-09-29 |
| 发明（设计）人： | 廉晓芳 | 申请（专利权）人： | 中微半导体设备（上海）股份有限公司 |
| 主分类号： | H01J37/32 | 分类号： | H01J37/32 |
| 代理公司： | 上海元好知识产权代理有限公司 31323 | 代理人： | 徐雯琼;刘琰 |
| 地址： | 201201 上海市浦东新*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种导热片和等离子体处理装置，所述导热片用于将第一部件所发出的热量向第二部件进行传送，所述导热片包括：第一导热层和第二导热层，第一导热层的第一表面与第一部件的表面相接触，第二导热层的第一表面与第一导热层的第二表面相接触，第二导热层的第二表面与第二部件的表面相接触；第二导热层为可压缩变形的导热层，其包括若干个凸起结构，若干个凸起结构均分布在第一导热层的第二表面上。本发明具有使得导热片与第二部件持续保持良好的热接触，使得第二部件具有受热均匀的优点。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 导热 等离子体 处理 装置 | ||
【主权项】：
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