[发明专利]与微结构超精密加工同步的在线检测修复系统和方法在审
| 申请号： | 201910547619.7 | 申请日： | 2019-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN110270885A | 公开（公告）日： | 2019-09-24 |
| 发明（设计）人： | 陈远流;陈甫文 | 申请（专利权）人： | 浙江大学 |
| 主分类号： | B23Q17/09 | 分类号： | B23Q17/09;B23Q17/22 |
| 代理公司： | 杭州宇信知识产权代理事务所(普通合伙) 33231 | 代理人： | 王健 |
| 地址： | 310058 浙江*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种与微结构超精密加工同步的在线检测修复方法，包括如下步骤：S1、基于加工过程中力传感器反馈的切削力信号和位移传感器反馈的位移信号形成切削力图谱；S2、基于所述切削力图谱中的异常信号辨识微结构缺陷产生的区域位置；S3、在测量模式下使用刀具对所述微结构缺陷产生的区域位置进行扫描，得到微结构缺陷的形状特征；S4、在加工模式下使用刀具根据设定的轨迹对所述微结构缺陷所在的区域重新进行切削加工，以保证整体微结构形状的一致性。该方法能够在加工过程中对微缺陷进行在线检测，实时检测微缺陷的位置和形貌，进而进行修复。 | ||
| 搜索关键词： | 微结构 在线检测 超精密加工 区域位置 缺陷产生 同步的 微缺陷 切削 刀具 形貌 微结构形状 位移传感器 修复 测量模式 加工模式 力传感器 切削加工 实时检测 位移信号 形状特征 修复系统 异常信号 反馈 切削力 辨识 扫描 保证 | ||
【主权项】：
1.一种与微结构超精密加工同步的在线检测修复系统，其特征在于，包括：刀具架，其配置有金刚石刀具；纵向快速刀具伺服，用于驱动刀具架在纵向位移，其包括第一压电陶瓷驱动器、第一电容式位移传感器和第一力传感器；横向快速刀具伺服，用于驱动刀具架在横向位移，其包括第二压电陶瓷驱动器、第二电容式位移传感器和第二力传感器；以及控制模组，其包括分别耦接所述第一电容式位移传感器和第二电容式位移传感器的加工模式反馈控制器组，和分别耦接所述第一力传感器和第二力传感器的测量模式反馈控制器组；还包括选择开关，所述第一压电陶瓷驱动器和第二压电陶瓷驱动器经所述选择开关耦接所述加工模式反馈控制器组或测量模式反馈控制器组。
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