[发明专利]一种超精密机床加工区域水、氧含量循环净化控制方法在审
| 申请号： | 202010706871.0 | 申请日： | 2020-07-21 |
| 公开（公告）号： | CN111974209A | 公开（公告）日： | 2020-11-24 |
| 发明（设计）人： | 李国;赵学森;胡振江;杜凯;张海军;王永红;黄燕华;孙涛;张强;宋成伟 | 申请（专利权）人： | 中国工程物理研究院激光聚变研究中心 |
| 主分类号： | B01D53/86 | 分类号： | B01D53/86;B01D53/04;B01D50/00;B01D46/44;B01D46/00;B01D53/46 |
| 代理公司： | 成都弘毅天承知识产权代理有限公司 51230 | 代理人： | 陈仕超 |
| 地址： | 621900 四*** | 国省代码： | 四川;51 |
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| 摘要： | 本发明涉及机床水、氧含量的净化技术领域，具体是一种超精密机床加工区域水、氧含量循环净化控制方法，用于解决现有技术中不能净化超精密机床加工区域内循环气体中水含量和氧含量的问题。本发明包括预处理单元、净化单元和循环控制单元，所述循环控制单元通过气管与超精密机床加工区域连接；所述预处理单元用于预过滤处理超精密机床加工区域内流出的循环气体；所述净化单元用于除去经过预处理单元后的循环气体中的氧含量和水含量。本发明中超精密机床加工区域中的气体通过预处理单元、净化单元和循环控制单元后，可以除去循环气体中的氧含量和水含量，从而可以稳定可靠的控制超精密机床加工区域内的水含量和氧含量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 精密 机床 加工 区域 含量 循环 净化 控制 方法 | ||
【主权项】：
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