[发明专利]溅射装置有效
| 申请号： | 201910547442.0 | 申请日： | 2019-06-24 |
| 公开（公告）号： | CN110643956B | 公开（公告）日： | 2022-01-07 |
| 发明（设计）人： | 武井纯一;曾根浩;铃木直行;居本伸二 | 申请（专利权）人： | 东京毅力科创株式会社 |
| 主分类号： | C23C14/34 | 分类号： | C23C14/34 |
| 代理公司： | 北京尚诚知识产权代理有限公司 11322 | 代理人： | 龙淳;刘芃茜 |
| 地址： | 日本*** | 国省代码： | 暂无信息 |
| 权利要求书： | 查看更多 | 说明书： | 查看更多 |
| 摘要： | 本发明提供一种能够容易地改变开口部的形状的技术。本发明的一个方式的溅射装置包括：收纳基片的处理容器；和缝隙板，其将上述处理容器内划分为设置靶材的第一空间和设置上述基片的第二空间，上述缝隙板包括：内侧部件，其具有在板厚方向将该缝隙板贯通的开口部；和设置在上述内侧部件的周围的外侧部件，上述内侧部件相对于上述外侧部件是可拆装的。 | ||
| 搜索关键词： | 溅射 装置 | ||
【主权项】：
1.一种溅射装置，其特征在于，包括：/n收纳基片的处理容器；和/n缝隙板，其将所述处理容器内划分为设置靶材的第一空间和设置所述基片的第二空间，/n所述缝隙板包括：内侧部件，其具有在板厚方向将该缝隙板贯通的开口部；和设置在所述内侧部件的周围的外侧部件，/n所述内侧部件相对于所述外侧部件是可拆装的。/n
下载完整专利技术内容需要扣除积分，VIP会员可以免费下载。
该专利技术资料仅供研究查看技术是否侵权等信息，商用须获得专利权人授权。该专利全部权利属于东京毅力科创株式会社，未经东京毅力科创株式会社许可，擅自商用是侵权行为。如果您想购买此专利、获得商业授权和技术合作，请联系【客服】
本文链接：http://www.vipzhuanli.com/patent/201910547442.0/，转载请声明来源钻瓜专利网。
- 同类专利
- 专利分类
