[发明专利]溅射装置

说明书

本发明提供一种能够容易地改变开口部的形状的技术。本发明的一个方式的溅射装置包括：收纳基片的处理容器；和缝隙板，其将上述处理容器内划分为设置靶材的第一空间和设置上述基片的第二空间，上述缝隙板包括：内侧部件，其具有在板厚方向将该缝隙板贯通的开口部；和设置在上述内侧部件的周围的外侧部件，上述内侧部件相对于上述外侧部件是可拆装的。

技术领域

本发明涉及一种溅射装置。

背景技术

已知一岁使从靶材释放出的粒子入射到基片来进行成膜的溅射装置(例如参照专利文献1)。另外，已知一种溅射装置，其从相对于基片的表面倾斜地配置的靶材对基片放射溅射粒子，使溅射粒子通过设置于靶材与基片之间的缝隙板的开口部而在基片形成膜(例如参照专利文献2)。

现有技术文献

专利文献

专利文献1：日本特开2008-201647号公报

专利文献2：日本特开2015-67856号公报

发明内容

发明要解决的技术问题

本发明提供一种能够容易地改变开口部的形状的技术。

用于解决技术问题的技术方案

本发明的一个方式的溅射装置，包括：收纳基片的处理容器；和缝隙板，其将上述处理容器内划分为设置靶材的第一空间和设置上述基片的第二空间，上述缝隙板包括：内侧部件，其具有在板厚方向将该缝隙板贯通的开口部；和设置在上述内侧部件的周围的外侧部件，上述内侧部件相对于上述外侧部件是可拆装的。

发明效果

依照本发明，能够容易地改变开口部的形状。

附图说明

图1是表示第一实施方式的溅射装置的结构例的截面图(1)。

图2是表示缝隙板的结构例的截面图(1)。

图3是表示缝隙板的结构例的截面图(2)。

图4是表示缝隙板的结构例的俯视图。

图5是表示第一实施方式的溅射装置的结构例的截面图(2)。

图6是表示第一实施方式的溅射装置的结构例的截面图(3)。

图7是用于说明第二实施方式的溅射装置的图。

图8是表示图7的溅射装置的气体供给部的一例的图。

图9是表示图7的溅射装置的气体供给部的另一例的图。

图10是表示图7的溅射装置的气体供给部的又一例的图。

图11是用于说明第三实施方式的溅射装置的图。

附图标记说明

10溅射装置

12处理容器

14缝隙板

14s开口部

141内侧部件

141a锥形部

142外侧部件

24靶材

28壁部件

210、220气体供给部

211、221气体排出孔

230、240气体供给部

S1第一空间