[发明专利]一种微米线阵列、雪崩紫外探测器和雪崩紫外探测器系统

摘要

本发明公开了一种微米线阵列、其制备方法、其制备的雪崩紫外探测器和雪崩紫外探测器系统，所述微米线阵列包括阵列排布的若干核壳结构微米线，所述核壳结构微米线包括线型核层半导体和壳层半导体，所述线型核层半导体与壳层半导体构成异质结。其制备方法包括如下步骤：首先利用二次电解法制备AAO模板，采用自催化的CVD方法为主，利用碳热还原法在周期孔状结构的AAO模板上合成制备异质结所需要的ZnO、Ga2O3、SnO2等微米线。制备方法成本较低、工艺较为简单。在微米线阵列的基础上，将电极材料与微米线的核层和壳层分别形成欧姆接触，制备异质结雪崩紫外探测器。然后结合光学设计及成熟的信号放大电路，制造出可便携式、具有较高灵敏度的雪崩紫外探测器系统。