[发明专利]一种微米线阵列、雪崩紫外探测器和雪崩紫外探测器系统有效

专利信息
申请号: 201910543479.6 申请日: 2019-06-21
公开(公告)号: CN112117346B 公开(公告)日: 2022-07-12
发明(设计)人: 钟文安;刘剑锋;苏龙兴;赵宇;王玉超 申请(专利权)人: 中国人民解放军63791部队
主分类号: H01L31/107 分类号: H01L31/107;H01L31/18
代理公司: 广州粤高专利商标代理有限公司 44102 代理人: 姚招泉
地址: 615000 四川省*** 国省代码: 四川;51
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摘要:
搜索关键词: 一种 微米 阵列 雪崩 紫外 探测器 系统
【权利要求书】:

1.一种微米线阵列,其特征在于,包括阵列排布的若干核壳结构微米线,所述核壳结构微米线包括线型核层半导体和壳层半导体,所述线型核层半导体与壳层半导体构成异质结;

所述微米线阵列的制备方法,包括如下步骤:

S1.制备AAO模板;

S2.通有惰性气体的管式炉沿惰性气体流动方向依次分为第二温区和第一温区,将壳层材料置于第二温区,将所述AAO模板和核层材料置于第一温区;

S3.第一温区升温后保温一定时间;

S4.第一温区停止加热,第二温区开始升温并保温一定时间,然后第二温区停止加热,得到所述微米线阵列。

2.一种雪崩紫外探测器,其特征在于,包括权利要求1所述微米线阵列和两个金属电极,两个所述金属电极分别与所述微米线阵列的线型核层半导体和壳层半导体形成欧姆接触。

3.根据权利要求2所述的雪崩紫外探测器,其特征在于,所述雪崩紫外探测器还包括保护环结构。

4.根据权利要求2所述的雪崩紫外探测器,其特征在于,所述微米线阵列经退火处理。

5.根据权利要求2所述的雪崩紫外探测器,其特征在于,所述微米线阵列经掺杂处理。

6.一种雪崩紫外探测器系统,其特征在于,包括权利要求2所述的雪崩紫外探测器和与所述雪崩紫外探测器电连接的信号放大电路。

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