[发明专利]一种多向MEMS扫描装置

摘要

本发明公开了一种多向MEMS扫描装置，涉及激光扫描技术领域，该多向MEMS扫描装置采用两个以上的二维扫描微镜级联，可以实现对待测样品的多方向同时扫描，可以大大提高扫描效率；且每个微镜可以独立控制使得扫描单元实现任意图形的扫描，在实际应用时可以针对不同的待测样品匹配不同的扫描图形，实现动态变化测量，扫描自由度和灵活度高。该多向MEMS扫描装置结构简单，采用MEMS工艺设计大大减小了装置的体积和成本。

主权项

1.一种多向MEMS扫描装置，其特征在于，所述多向MEMS扫描装置包括光源和双微镜扫描单元，所述双微镜扫描单元包括第一微镜、第二微镜、分束器、第一微镜隔离罩和第二微镜隔离罩，所述第一微镜、第二微镜、第一微镜隔离罩和第二微镜隔离罩分别采用MEMS工艺加工而成，所述第一微镜和第二微镜均采用二维扫描微镜，所述分束器分别和所述第一微镜隔离罩以及第二微镜隔离罩连接在一起，所述第一微镜和所述第一微镜隔离罩连接在一起，所述第二微镜和所述第二微镜隔离罩连接在一起，所述第一微镜隔离罩和第二微镜隔离罩上分别刻有隔离罩腔，所述第一微镜在所述第一微镜隔离罩的隔离罩腔内部进行扫描，所述第二微镜在所述第二微镜隔离罩的隔离罩腔内部进行扫描；所述光源朝向所述双微镜扫描单元中的所述分束器，所述光源发出的光经所述分束器的分束作用后分别入射到所述第一微镜和所述第二微镜上，所述第一微镜和所述第二微镜分别按照各自的扫描方式将入射的光通过所述分束器入射到待测物体上，所述第一微镜和第二微镜的扫描方式分别由独立的扫描信号进行控制。