[发明专利]一种多向MEMS扫描装置

权利要求书

1.一种多向MEMS扫描装置，其特征在于，所述多向MEMS扫描装置包括光源和双微镜扫描单元，所述双微镜扫描单元包括第一微镜、第二微镜、分束器、第一微镜隔离罩和第二微镜隔离罩，所述第一微镜、第二微镜、第一微镜隔离罩和第二微镜隔离罩分别采用MEMS工艺加工而成，所述第一微镜和第二微镜均采用二维扫描微镜，所述分束器分别和所述第一微镜隔离罩以及第二微镜隔离罩连接在一起并充入有惰性气体或抽真空，所述第一微镜和所述第一微镜隔离罩连接在一起，所述第二微镜和所述第二微镜隔离罩连接在一起，所述第一微镜隔离罩和第二微镜隔离罩上分别刻有隔离罩腔，所述第一微镜在所述第一微镜隔离罩的隔离罩腔内部进行扫描，所述第二微镜在所述第二微镜隔离罩的隔离罩腔内部进行扫描；所述光源朝向所述双微镜扫描单元中的所述分束器，所述光源发出的光经所述分束器的分束作用后分别入射到所述第一微镜和所述第二微镜上，所述第一微镜和所述第二微镜分别按照各自的扫描方式将入射的光通过所述分束器入射到待测物体上，所述第一微镜和第二微镜的扫描方式分别由独立的扫描信号进行控制；

所述多向MEMS扫描装置包括N个所述双微镜扫描单元，各个所述双微镜扫描单元的扫描方式分别由独立的扫描信号进行控制，N≥2，N个所述双微镜扫描单元依次排列形成一个扫描单元行，所述光源发出的光入射到所述扫描单元行中的第1个双微镜扫描单元的分束器；在所述扫描单元行中，入射到第i个双微镜扫描单元的分束器的光经所述分束器的分束作用后分别入射到所述第i个双微镜扫描单元中的微镜以及第i+1个双微镜扫描单元的分束器，i为参数且1≤i≤N-1；

所述多向MEMS扫描装置包括M个所述扫描单元行和M个分束器，M≥2，所述M个所述扫描单元行依次排列形成M行N列的扫描单元阵列，所述M个分束器依次排列形成M行1列的分束器阵列，每一个所述分束器分别对应一个所述扫描单元行；所述光源发出的光入射到第1个分束器，入射到第j个分束器的光经所述分束器的分束作用后分别入射到第j+1个分束器和第j个扫描单元行中的第1个双微镜扫描单元的分束器，j为参数且1≤j≤M-1。

2.根据权利要求1所述的多向MEMS扫描装置，其特征在于，对于任意一个所述双微镜扫描单元，所述双微镜扫描单元在两个微镜上同时加载相位相反的双轴直线扫描信号时实现网状图形扫描。

3.根据权利要求1所述的多向MEMS扫描装置，其特征在于，对于任意一个所述双微镜扫描单元，所述双微镜扫描单元在两个微镜上同时加载相位差为90°的正弦信号包络幅值为三角波的扫描信号实现环形图形扫描。

4.根据权利要求1所述的多向MEMS扫描装置，其特征在于，对于任意一个所述双微镜扫描单元，所述双微镜扫描单元在一个微镜上加载直线扫描信号、另一个微镜上加载正弦信号包络幅值为三角波的扫描信号时实现直线图形扫描和环形图形扫描。

5.根据权利要求1所述的多向MEMS扫描装置，其特征在于，对于每个所述双微镜扫描单元，所述分束器通过胶体与所述第一微镜隔离罩和第二微镜隔离罩粘接在一起，所述第一微镜隔离罩通过焊接的方式与所述第一微镜连接在一起，所述第二微镜隔离罩通过焊接的方式与所述第二微镜连接在一起。