[发明专利]含有保护遮罩的加热单元、炉管装置与其清洗方法在审
| 申请号： | 201910524211.8 | 申请日： | 2019-06-18 |
| 公开（公告）号： | CN112097519A | 公开（公告）日： | 2020-12-18 |
| 发明（设计）人： | 蔡宣志 | 申请（专利权）人： | 台湾积体电路制造股份有限公司 |
| 主分类号： | F27B17/00 | 分类号： | F27B17/00;F27D11/06;F27D3/12;F27D25/00;B08B9/032;H01L21/67 |
| 代理公司： | 北京律诚同业知识产权代理有限公司 11006 | 代理人： | 徐金国 |
| 地址： | 中国台湾新竹市*** | 国省代码： | 台湾;71 |
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| 摘要： | 提供一种含有保护遮罩的加热单元、炉管装置与其清洗方法。此加热单元包含加热元件与保护遮罩，且保护遮罩覆盖加热元件的顶表面。其中，保护遮罩包含多个保护件及多个结合件。保护件具有多个结合孔，且保护件的顶表面具有至少一贯穿开口。结合件是配置以透过结合孔来结合保护件的相邻二者。结合件包含第一端部与第二端部，第一端部插设于相邻二个保护件的一者的结合孔，且第二端部插设于相邻二个保护件的另一者的结合孔。 | ||
| 搜索关键词： | 含有 保护 加热 单元 炉管 装置 与其 清洗 方法 | ||
【主权项】：
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