[发明专利]一种P型纳米过渡金属氧化物薄膜及其制备方法和应用

摘要

本发明提出了一种P型纳米过渡金属氧化物薄膜及其制备方法和应用。将过渡金属氧化物薄膜进行表面改性和浸润清洗，得到P型特性得到增强的P型纳米过渡金属氧化物薄膜。本发明通过表面改性处理结合浸润清洗的工艺方法，除了能增强空穴导电性能外，还能改善薄膜的均匀性和致密性，对于制备高平整度薄膜具有十分明显的效果，相比于传统掺杂和高温烧结的方式，实现方式更简单，结果重复性更好。制得的P型纳米过渡金属氧化物薄膜，应用范围广泛，对高效器件的研究和发展有着积极的促进意义。

主权项

1.一种P型纳米过渡金属氧化物薄膜的制备方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤一、采用过渡金属氧化物纳米颗粒分散液作为制膜原料，通过溶液法涂布在阳极基片上制得纳米晶薄膜，测得纳米晶薄膜厚度d；步骤二、对纳米晶薄膜进行紫外臭氧或氧等离子体表面改性处理；步骤三、对表面改性后的薄膜进行重排处理，制得所述P型纳米过渡金属氧化物薄膜，当d小于15nm时，重排处理次数为1次，当d不小于15nm且小于85nm时，重排处理次数为log₂(d/10)+1四舍五入后的整数值次数，当d不小于85nm时，重排处理次数为5次；所述重排处理具体包括以下步骤：将表面改性后的薄膜浸泡于非极性溶剂中，浸润1～10s后取出，然后再浸泡于极性溶剂中，浸润1～10s后取出，去除表面溶剂，然后采用与步骤二中相同的表面改性处理方法进行表面改性处理。