[发明专利]一种具有忆阻特性和二极管行为的柔性器件及其制备方法有效
申请号: | 201910500434.0 | 申请日: | 2019-06-11 |
公开(公告)号: | CN110190185B | 公开(公告)日: | 2021-01-05 |
发明(设计)人: | 赵勇;朱守辉;孙柏;付国强;李冰 | 申请(专利权)人: | 西南交通大学 |
主分类号: | H01L45/00 | 分类号: | H01L45/00 |
代理公司: | 成都虹盛汇泉专利代理有限公司 51268 | 代理人: | 王伟 |
地址: | 610031 四川省*** | 国省代码: | 四川;51 |
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摘要: |
本发明提供了一种具有忆阻特性和二极管行为的柔性器件及其制备方法,器件依次包括采用柔性材料制成的基底、下电极、介电层和上电极。制作方法为:S1、选取柔性材料作为基底;S2、将基底依次通过去离子水、乙醇、丙酮、乙醇、去离子水清洗干净;S3、在基底上横向10%~90%的区域沉积金属钛作为下电极;S4、使用模具遮挡下电极纵向0%~30%的区域;S5、在未遮盖的下电极表面利用射频溅射沉积LiCoO |
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搜索关键词: | 一种 具有 特性 二极管 行为 柔性 器件 及其 制备 方法 | ||
【主权项】:
1.一种具有忆阻特性和二极管行为的柔性器件,其特征在于,依次包括采用柔性材料制成的基底(1)、下电极(2)、介电层(3)和上电极(4)。
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