[发明专利]一种功率模块的封装工艺在审
申请号: | 201910498469.5 | 申请日: | 2019-06-11 |
公开(公告)号: | CN110289217A | 公开(公告)日: | 2019-09-27 |
发明(设计)人: | 周理明;陈明;周正勇;原江伟;郑忠庆;王毅 | 申请(专利权)人: | 扬州扬杰电子科技股份有限公司 |
主分类号: | H01L21/56 | 分类号: | H01L21/56;H01L31/048 |
代理公司: | 扬州市苏为知识产权代理事务所(普通合伙) 32283 | 代理人: | 周全 |
地址: | 225008 江苏省扬*** | 国省代码: | 江苏;32 |
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摘要: | 一种功率模块的封装工艺。涉及功率模块加工工艺的改进。提出了一种逻辑清晰、简单有效、加工周期短且加工效果好、产品品质高,可有效克服因框架两侧塑封料收缩时对框架的作用力差异,而导致塑封体整体出现中心朝向芯片所在一侧拱起的翘曲现象的功率模块的封装工艺。本发明本案通过对模腔形状的调整,使得开模后,塑封体朝向芯片反方向的一侧拱起,即原翘曲现象的反方向,这样在工件自然冷却到常温的过程中,借助框架两侧塑封料收缩时对框架的作用力差异,将使得塑封体冷却完毕后保持高度平整,有效解决了传统加工工艺中出现的翘曲现象。本案从整体上具有逻辑清晰、简单有效、加工周期短、加工效果好、产品品质高以及产品平整度高、无翘曲等优点。 | ||
搜索关键词: | 功率模块 翘曲 封装工艺 塑封体 产品品质 加工周期 反方向 塑封料 拱起 收缩 冷却 芯片 传统加工工艺 产品平整度 工件自然 有效解决 清晰 对模 开模 加工 平整 改进 | ||
【主权项】:
1.一种功率模块的封装工艺,其特征在于,将功率模块中的框架、芯片以及跳线置于上模和下模之间进行塑封;所述上模的底面上开设有上模腔,所述上模腔的腔底的呈朝下凸起的曲面状,所述下模的顶面上开设有下模腔,所述下模腔的腔底呈朝下凹陷的曲面状。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件;其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置;专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理;集成电路器件或其特殊部件的制造
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H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
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