[发明专利]用于制备大面积金刚石薄膜的热壁热丝CVD的装置

摘要

本发明涉及一种用于制备大面积金刚石薄膜的热壁热丝CVD的装置，包括包括密闭的反应腔室（1），绝热壁（2），反应腔室密封法兰前盖（3），反应腔室密封法兰后盖（4），热丝支架（5），样品支架（6），反应气瓶（13），电源（12），真空泵（11），冷却循环水机（14），热丝（10），隔热前置挡板（9），隔热后置挡板（7）和电阻丝（8）。由于绝热壁（2）与反应腔室（1）直接安置了用于加热的电阻丝（8），可以实现整个腔室的温度均匀的维持在700℃以上。与现有的技术相比，本发明能够实现大面积的金刚石薄膜的生产，提升了大面积的金刚石薄膜的质量。

主权项

1.一种用于制备大面积金刚石薄膜的热壁热丝CVD的装置，其特征在于，该装置包括密闭的反应腔室（1），绝热壁（2），反应腔室密封法兰前盖（3），反应腔室密封法兰后盖（4），热丝支架（5），样品支架（6），反应气瓶（13），热丝（10），隔热前置挡板（9），隔热后置挡板（7），电阻丝（8），冷却循环水机（14），真空泵（11）和直流电源（12）；反应腔室（1）的前后两端分别与反应腔室密封法兰前盖（3）和反应腔室密封法兰后盖（4）相连，并置于绝热壁（2）内；在反应腔室（1）与绝热壁（2）之间的界面处设有用于加热的电阻丝（8）；反应腔室密封法兰前盖（3）上还设有供反应气体通入的进气口（301），电极接线柱（302），进水口（303），出水口（304）；进气口（301）与反应气瓶（13）相连，接线柱（302）与直流电源（12）相连，进水口（303）和出水口（304）与循环冷却水机（14）相连；反应腔室密封法兰后盖（4）上设有用于真空泵抽气的排气口（401），进水口（402）和水口（403）；排气口（401）与真空泵（11）的抽气口相连，进水口（402）和出水口（403）与循环水机（14）相连；隔热前置挡板（9）安置在反应腔室密封法兰前盖（3）的朝向反应腔室一侧，置于反应前腔室（1）内；隔热前置挡板（9）上设有与电极接线柱相对应的孔，用于电极柱上的导线穿过隔热前置挡板（9）与热丝（10）相连接；隔热后置挡板（7）安置在反应腔室密封法兰后盖（4）的朝向反应腔室一侧，置于反应前腔室（1）内；热丝（10 ）按照1‑7 cm的间距，串联连接在热丝支架上（5）；热丝支架（5）和样品支架（6）从上往下间隔1‑3cm依次交错排列，并垂直固定在所述的隔热前置挡板（9）上，且置于密闭的反应腔室内（1）。