[发明专利]PN结样品的获取方法有效
| 申请号： | 201910447034.8 | 申请日： | 2019-05-27 |
| 公开（公告）号： | CN111999632B | 公开（公告）日： | 2023-02-03 |
| 发明（设计）人： | 蔡咏渊;龚超 | 申请（专利权）人： | 合肥晶合集成电路股份有限公司 |
| 主分类号： | G01R31/28 | 分类号： | G01R31/28;H01L21/66 |
| 代理公司： | 上海思微知识产权代理事务所(普通合伙) 31237 | 代理人： | 郑星 |
| 地址： | 230012 安徽省合*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明提供了一种PN结样品的获取方法。通过在预制备体的互连结构层中形成开窗，以使蚀刻溶液可以通过开窗，实现从预制备体的顶部和PN结进行反应，因此在将预制备体浸入至蚀刻溶液之前可以不执行切割过程，有效减少了切割工艺的执行次数，并且在PN结和蚀刻溶液进行反应时，PN结的截面可以不暴露出，从而可以避免PN结的截面被蚀刻溶液污染。此外，针对预制备体中具有多个PN结的情况，则可以使多个PN结同时与蚀刻溶液反应，有利于对反应时间进行统一调控，降低PN结样品的获取难度。 | ||
| 搜索关键词： | pn 样品 获取 方法 | ||
【主权项】：
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