[发明专利]控制装置、流量灵敏度修正方法、存储介质

摘要

本发明提供控制装置、流量灵敏度修正方法、存储介质。该控制装置包括：将罐内的压力控制为罐压P1的罐压控制部、开放将罐和工件连接的管路并测量工件压P2的工件压测量部、根据罐压P1和工件压P2和罐的内容积V1求出工件的内容积x并求出与预先设定的工件的测试压P2’对应的罐的控制压P1’的控制压计算部、在将罐压设定为控制压P1’并进行管路的开放的情况下判断工件内的压力是否收敛于以测试压P2’为中心的规定范围的收敛判定部、以及在工件内的压力收敛于规定范围的情况下基于控制压P1’和测试压P2’算出用于修正在将罐和工件连接的管路上设置的质量流量传感器的系数即流量修正系数K并基于该流量修正系数K修正质量流量传感器的质量流量传感器修正部。