[发明专利]控制装置、流量灵敏度修正方法、存储介质

说明书

本发明提供控制装置、流量灵敏度修正方法、存储介质。该控制装置包括：将罐内的压力控制为罐压P₁的罐压控制部、开放将罐和工件连接的管路并测量工件压P₂的工件压测量部、根据罐压P₁和工件压P₂和罐的内容积V₁求出工件的内容积x并求出与预先设定的工件的测试压P₂’对应的罐的控制压P₁’的控制压计算部、在将罐压设定为控制压P₁’并进行管路的开放的情况下判断工件内的压力是否收敛于以测试压P₂’为中心的规定范围的收敛判定部、以及在工件内的压力收敛于规定范围的情况下基于控制压P₁’和测试压P₂’算出用于修正在将罐和工件连接的管路上设置的质量流量传感器的系数即流量修正系数K并基于该流量修正系数K修正质量流量传感器的质量流量传感器修正部。

技术领域

本发明涉及修正对质量流量(mass flow)传感器的流量灵敏度进行修正的控制装置、流量灵敏度修正方法、存储介质。

背景技术

作为流量式泄漏测试系统的现有例子，例如存在非专利文献1。参照图1来说明现有的储罐方式的泄漏流量测量系统的结构。如同图所示，现有的储罐方式的泄漏流量测量系统9包含：空压源905、与将空压源905和罐920连接的第一管路连接的电空转换器910、将第一管路可开闭地连接并比电空转换器910更位于罐920侧的第一截止阀915、罐920、与将罐920和工件935连接的第二管路连接的质量流量传感器925、将第二管路可开闭地连接并比质量流量传感器925更位于工件935侧的第二截止阀930、工件935、将把罐920和流量控制器960连接的第三管路可开闭地连接的第三截止阀940、与罐920连接的压力传感器945、用于排出罐920内的气体的第四截止阀950、将比第二截止阀930更位于工件935侧的第二管路和比第三截止阀940跟位于流量控制器960侧的第三管路连接的第四管路、将比第四管路更位于流量控制器侧的第三管路可开闭地连接的第五截止阀955、流量控制器960、控制系统整体的控制装置965。同图的虚线是传送控制装置965的控制信号的控制线。

参照图2来说明现有的泄漏流量测量系统9的控制压设定动作。首先，控制装置965打开第一截止阀915，控制电空转换器910以使罐920内的压力成为罐压P₁，并测量罐920内的压力(S9651)。接下来控制装置965关闭第一截止阀915，打开第三截止阀940，测量工件935内的压力即工件压P₂(S9652)。

在此，将大气压(工件935内的压力的初始值)设为P₀、罐920的内容积(已知)设为V₁，工件935的内容积(未知)设为x，基于步骤S9651的罐压P₁、在步骤S9652测量的工件压P₂，根据博伊尔定律，

【算式1】

P₁V₁+P₀x＝P₂(V₁+x)…(1)

成立。控制装置965基于式(2)，根据罐压P₁和工件压P₂和罐的内容积V₁求出工件935的内容积x，将与预先设定的工件935的测试压P₂’对应的罐920的控制压P₁’通过以下的式(3)求出(S9653)。

【算式2】