[发明专利]控制装置、流量灵敏度修正方法、存储介质

权利要求书

1.一种控制装置，含有：

罐压控制部，其将罐内的压力控制为罐压P₁；

工件压测量部，其开放将所述罐和工件连接的管路，并测量所述工件内的压力即工件压P₂；

控制压计算部，其根据所述罐压P₁和所述工件压P₂和所述罐的内容积V₁求出所述工件的内容积x，并求出与预先设定的所述工件的测试压P₂’对应的罐的控制压P₁’；

收敛判定部，在将所述罐压设定为所述控制压P₁’并进行所述管路的开放的情况下，其判定所述工件内的压力是否收敛于以所述测试压P₂’为中心的规定范围；以及

质量流量传感器修正部，在所述工件内的压力收敛于所述规定范围的情况下，其基于所述控制压P₁’和所述测试压P₂’，算出用于修正在将所述罐和所述工件连接的管路上设置的质量流量传感器的系数即流量修正系数K，并基于该流量修正系数K来修正所述质量流量传感器，

所述质量流量传感器修正部将P₀作为所述工件内的压力的初始值，将所述流量修正系数K作为【算式11】

来算出。

2.如权利要求1所述的控制装置，含有：

第一流量检测部，其开放将所述罐和所述工件连接的管路，检测在该管路上设置的所述质量流量传感器的通过所述流量修正系数K修正完毕的测量值即流量B；

第二流量检测部，其开放将所述罐和所述工件和泄漏流量值F的流量控制器连接的管路，检测在该管路上设置的所述质量流量传感器的通过所述流量修正系数K修正完毕的测量值即流量C；以及

质量流量传感器校正部，以所述泄漏流量值F、和将流量C与流量B的差分用α进行修正后的值变得相等的方式得到校正系数α，校正所述质量流量传感器。

3.一种流量灵敏度修正方法，含有：

罐压控制步骤，将罐内的压力控制为罐压P₁；

工件压测量步骤，开放将所述罐和工件连接的管路，并测量所述工件内的压力即工件压P₂；

控制压计算步骤，根据所述罐压P₁和所述工件压P₂和所述罐的内容积V₁求出所述工件的内容积x，并求出与预先设定的所述工件的测试压P₂’对应的罐的控制压P₁’；

收敛判定步骤，在将所述罐压设定为所述控制压P₁’并进行所述管路的开放的情况下，判定所述工件内的压力是否收敛于以所述测试压P₂’为中心的规定范围；以及

质量流量传感器修正步骤，在所述工件内的压力收敛于所述规定范围的情况下，基于所述控制压P₁’和所述测试压P₂’，算出用于修正在将所述罐和所述工件连接的管路上设置的质量流量传感器的系数即流量修正系数K，并基于该流量修正系数K修正所述质量流量传感器，

所述质量流量传感器修正步骤将P₀作为所述工件内的压力的初始值，将所述流量修正系数K作为【算式12】

来算出。

4.如权利要求3所述的流量灵敏度修正方法，含有：

第一流量检测步骤，开放将所述罐和所述工件连接的管路，检测在该管路上设置的所述质量流量传感器的通过所述流量修正系数K修正完毕的测量值即流量B；

第二流量检测步骤，开放将所述罐和所述工件和泄漏流量值F的流量控制器连接的管路，检测在该管路上设置的所述质量流量传感器的通过所述流量修正系数K修正完毕的测量值即流量C；以及

质量流量传感器校正步骤，以所述泄漏流量值F、和将流量C与流量B的差分用α进行修正后的值变得相等的方式得到校正系数α，校正所述质量流量传感器。

5.如权利要求3所述的流量灵敏度修正方法，其中，

对储罐方式的泄漏流量测量系统执行各所述步骤。