[发明专利]一种等离激元声表面波谐振红外传感器在审
| 申请号： | 201910433612.2 | 申请日： | 2019-05-23 |
| 公开（公告）号： | CN110231095A | 公开（公告）日： | 2019-09-13 |
| 发明（设计）人： | 孙成亮;蔡耀;张一;邹杨;谢英;刘炎;朱伟 | 申请（专利权）人： | 武汉大学 |
| 主分类号： | G01J5/20 | 分类号： | G01J5/20 |
| 代理公司： | 武汉科皓知识产权代理事务所(特殊普通合伙) 42222 | 代理人： | 杨宏伟 |
| 地址： | 430072 湖*** | 国省代码： | 湖北;42 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种等离激元声表面波谐振红外传感器，包括声表面波谐振器和纳米金属阵列；声表面波谐振器包括输入端叉指电极、输出端叉指电极、压电薄膜和基底；纳米金属阵列位于声表面波谐振器敏感区域，生长在压电薄膜上。所述等离激元声表面波谐振器红外传感器通过纳米金属阵列的等离激元效应增强对红外辐射的吸收，微量的红外辐射可以产生较大的能量聚集，使声表面波谐振器敏感区域温度升高，压电薄膜材料参数发生变化，造成沿压电薄膜表面传播的声波振动发生变化，叉指电极输出的电信号频率发生漂移，通过测试电信号变化来反映红外辐射信号。本发明尺寸较小、制备简单、灵敏度高，能够有效实现红外辐射探测。 | ||
| 搜索关键词： | 声表面波谐振器 等离激元 红外传感器 叉指电极 纳米金属 声表面波谐振 红外辐射 敏感区域 压电薄膜 红外辐射探测 红外辐射信号 压电薄膜表面 压电薄膜材料 漂移 测试电信号 电信号频率 能量聚集 声波振动 有效实现 灵敏度 输出端 输入端 基底 制备 输出 生长 传播 吸收 | ||
【主权项】：
1.一种等离激元声表面波谐振红外传感器，其特征是：包括声表面波谐振器和纳米金属阵列；所述声表面波谐振器包括基底、位于基底上的压电薄膜和位于压电薄膜上的两对叉指电极，其中一对叉指电极为输入端叉指电极，另一对叉指电极为输出端叉指电极；所述纳米金属阵列生长于声表面波谐振器敏感区域的压电薄膜上。
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