[发明专利]对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统及方法在审
| 申请号： | 201910411581.0 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN110246734A | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 陈六彪;王俊杰;崔晨;顾开选;郭嘉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/26;F25B9/14 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 苗青盛;魏雪梅 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明涉及电子显微镜样品台冷却技术领域，提供一种对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统及方法。本发明提供的制冷系统包括第一真空腔体、第二真空腔体、对置式压缩机、制冷机及样品台，制冷机位于第一真空腔体内，样品台位于第二真空腔体内，对置式压缩机位于第一真空腔体外并与制冷机柔性连接，制冷机的冷头与样品台相连。本发明提供的对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统，对置式压缩机带动制冷机制冷，制冷机产生的冷量传递至样品台以降低样品台的温度，从而满足不同样品测量环境的温度要求，适用性高；对置式压缩机与制冷机分别位于第一真空腔体的外部和内部，相互分离设置，两者之间柔性连接，减小样品台的振动。 | ||
| 搜索关键词： | 对置式 制冷机 样品台 真空腔体 制冷系统 压缩机 扫描电子显微镜 压缩机驱动 柔性连接 真空腔 体内 电子显微镜样品 分离设置 冷却技术 温度要求 样品测量 减小 冷量 冷头 制冷 传递 外部 | ||
【主权项】：
1.一种对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统，包括第一真空腔体及第二真空腔体，其特征在于，还包括对置式压缩机、制冷机及样品台，所述制冷机位于所述第一真空腔体内，所述样品台位于所述第二真空腔体内，所述对置式压缩机位于第一真空腔体外并与所述制冷机柔性连接，所述制冷机的冷头与所述样品台相连。
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