[发明专利]对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统及方法在审
| 申请号： | 201910411581.0 | 申请日： | 2019-05-17 |
| 公开（公告）号： | CN110246734A | 公开（公告）日： | 2019-09-17 |
| 发明（设计）人： | 陈六彪;王俊杰;崔晨;顾开选;郭嘉 | 申请（专利权）人： | 中国科学院理化技术研究所 |
| 主分类号： | H01J37/20 | 分类号： | H01J37/20;H01J37/26;F25B9/14 |
| 代理公司： | 北京路浩知识产权代理有限公司 11002 | 代理人： | 苗青盛;魏雪梅 |
| 地址： | 100190 *** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | |||
| 搜索关键词： | 对置式 制冷机 样品台 真空腔体 制冷系统 压缩机 扫描电子显微镜 压缩机驱动 柔性连接 真空腔 体内 电子显微镜样品 分离设置 冷却技术 温度要求 样品测量 减小 冷量 冷头 制冷 传递 外部 | ||
1.一种对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统，包括第一真空腔体及第二真空腔体，其特征在于，还包括对置式压缩机、制冷机及样品台，所述制冷机位于所述第一真空腔体内，所述样品台位于所述第二真空腔体内，所述对置式压缩机位于第一真空腔体外并与所述制冷机柔性连接，所述制冷机的冷头与所述样品台相连。
2.根据权利要求1所述的对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统，其特征在于，所述对置式压缩机安装在第一基座上，所述第一基座下方安装有第一减振单元。
3.根据权利要求1或2所述的对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统，其特征在于，所述制冷机和所述第二真空腔体安装于第二基座，所述第二基座下方安装第二减振单元。
4.根据权利要求3所述的对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统，其特征在于，所述制冷机的热端与所述第二基座硬连接。
5.根据权利要求1所述的对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统，其特征在于，所述制冷机为脉冲管制冷机。
6.根据权利要求1或5所述的对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统，其特征在于，所述制冷机的冷端与所述样品台之间通过柔性管道连接。
7.根据权利要求1所述的对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统，其特征在于，所述第一真空腔体与所述第二真空腔体相连通。
8.根据权利要求7所述的对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统，其特征在于，所述第一真空腔体与所述第二真空腔体的真空度分别为0Pa～105Pa。
9.根据权利要求1所述的对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统，其特征在于，所述对置式压缩机包括第一活塞和第二活塞，所述第一活塞与所述第二活塞相向运动。
10.一种使用权利要求1至9任一项所述的对置式压缩机驱动的扫描电子显微镜制冷系统进行冷却的方法，其特征在于，包括：
第一真空腔体与第二真空腔体的真空度达到要求后，启动对置式压缩机，制冷机释放冷量为样品台降温，当所述样品台的温度降低至预设温度后，减小所述对置式压缩机的输入电功；当所述样品台的温度高于预设温度时，增大所述对置式压缩机的输入电功。
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