[发明专利]一种适用于半导体制程废气处理系统

摘要

本发明公开一种适用于半导体制程废气处理系统，涉及废气处理领域，包括前水洗系统、热反应系统、后水洗系统和水循环系统，增加前水洗系统，能够提前处理可溶于水的气体以及去除粉尘物，并采用6路直管进气即降低进气量波动影响又防止堵塞，反应腔体增大并且制程气体是从反应腔体底部进入反应腔，能够提前预热气体，增加气体中水汽含量，使反应更充分，部分水淋采用循环水，进水使用一路新水，并且使用一个水泵进行水系统循环和排污，降低成本，减少耗能，节约水资源；在传输管道上进行气体冷却，防止洗涤器过热；本发明优化了传统废气处理设备，更利于半导体制程废气的处理，且降低成本，减少耗能，提升处理效果，并增大制程气体的处理量。

主权项

1.一种适用于半导体制程废气处理系统，其特征在于，包括前水洗系统(1)、热反应系统(2)、后水洗系统(3)和水循环系统(4)，所述水循环系统(4)包括水箱(40)、新水进水管道(41)、污水出水管道(42)、水泵(43)和阻隔板(44)，所述水泵(43)安装于水箱(40)内，所述新水进水管道(41)直接与水箱(40)连通，所述污水出水管道(42)与水泵(43)连接；所述前水洗系统(1)包括废气进气管(10)、进气水淋喷头(12)和集气箱(13)，所述废气进气管(10)通过集气箱(13)与水箱(40)连通，所述进气水淋喷头(12)设在废气进气管(10)内；所述热反应系统(2)包括热反应箱(20)、加热棒(21)、过程气体烟囱(22)和传输管道(23)，所述热反应箱(20)内为反应腔(25)和回流腔(26)，所述过程气体烟囱(22)与热反应箱(20)固定连接，且过程气体烟囱(22)下端与水箱(40)连通，上端开口并位于反应腔(25)内，所述加热棒(21)固定连接在热反应箱(20)上，所述传输管道(23)固定连接在热反应箱(20)的侧下方，并与反应腔(25)连通，且传输管道(23)上还设有冷却水淋喷头(24)，所述热反应箱(20)的底部还固定连接有加热箱进水管道(44)，所述加热箱进水管道(44)的两端分别与水泵(43)和回流腔(26)连通；所述后水洗系统(3)包括下洗涤器(30)、上洗涤器(31)、下水淋喷头(32)和上水淋喷头(33)，所述下洗涤器(30)的下端与水箱(40)连通，上端与上洗涤器(31)连通，且下洗涤器(30)还通过传输管道(23)与热反应箱(20)连通，所述下水淋喷头(32)设在下洗涤器(30)内，所述上水淋喷头(33)设在上洗涤器(31)内。