[发明专利]一种提高金属散热器微通道电铸均匀性的方法在审
| 申请号： | 201910378094.9 | 申请日： | 2019-05-08 |
| 公开（公告）号： | CN110055563A | 公开（公告）日： | 2019-07-26 |
| 发明（设计）人： | 许建伟;赵明;吕辉;王仁彻;宋畅;杜立群 | 申请（专利权）人： | 中国电子科技集团公司第十四研究所;大连理工大学 |
| 主分类号： | C25D1/08 | 分类号： | C25D1/08;C25D1/10;C25D5/20 |
| 代理公司： | 南京理工大学专利中心 32203 | 代理人： | 唐代盛 |
| 地址： | 210039 江*** | 国省代码： | 江苏;32 |
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| 摘要： | 本发明提出了一种提高金属散热器微通道电铸均匀性的方法，首先在基板上涂覆光刻胶，在基板上涂光刻胶，然后进过自平整、覆盖掩膜板进行曝光，后烘、显影，得到可用于微通道电铸的胶膜结构；然后对基板上的胶膜进行电铸：电铸过程在兆声环境中进行，将基板作为阴极，同时阴极施加旋转运行，对铸液循环过滤，在胶膜结构的通道中形成微通道铸层；最后去除胶膜，形成最终的均匀性较好的散热器微通道：将电铸后的放入去胶液中浸泡，待结构上的胶膜全部去除后取出，使用去离子水漂洗后得到铸层厚度均匀的金属微通道结构；本发明显著的提高了金属微通道铸层的均匀性。 | ||
| 搜索关键词： | 微通道 电铸 均匀性 基板 胶膜 铸层 阴极 金属散热器 胶膜结构 光刻胶 去除 散热器 金属 微通道结构 电铸过程 厚度均匀 去离子水 循环过滤 对基板 去胶液 声环境 掩膜板 漂洗 放入 后烘 可用 涂覆 显影 铸液 浸泡 平整 取出 施加 曝光 覆盖 | ||
【主权项】：
1.一种提高金属散热器微通道电铸均匀性的方法，其特征在于，包括以下步骤：步骤S1、在基板上涂覆光刻胶，在基板上涂光刻胶，然后进过自平整、覆盖掩膜板进行曝光，后烘、显影，得到可用于微通道电铸的胶膜结构；步骤S2、对基板上的胶膜进行电铸：电铸过程在兆声环境中进行，将基板作为阴极，同时阴极施加旋转运行，对铸液循环过滤，在胶膜结构的通道中形成微通道铸层；步骤S3、去除胶膜，形成最终的均匀性较好的散热器微通道：将电铸后的放入去胶液中浸泡，待结构上的胶膜全部去除后取出，使用去离子水漂洗后得到铸层厚度均匀的金属微通道结构。
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