[发明专利]一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备

摘要

本发明涉及电容器加工设备，提供一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，旨在解决传统的蒸镀装置在对薄膜进行蒸镀时，蒸发源的受热不均，会导致蒸镀的厚度不一致、层次不均匀，且蒸镀效率较慢，影响薄膜电容器生产效率的问题，包括外箱、外箱下端安装的多个支撑脚和外箱前壁上安装的箱门，所述外箱的上端安装有抽真空机，且抽真空机的输入端上安装有抽真空管，抽真空管的下端延伸至外箱的内腔下部，所述外箱的内腔设有薄膜卷，且薄膜卷上缠绕有薄膜，所述薄膜的另一端依次绕过清洁组件、两个转向辊和冷却组件并缠绕在薄膜收卷辊上；本发明尤其适用于金属化薄膜的高效率蒸镀加工，具有较高的商业前景。

主权项

1.一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，包括外箱、外箱下端安装的多个支撑脚和外箱前壁上安装的箱门，其特征在于，所述外箱的上端安装有抽真空机，且抽真空机的输入端上安装有抽真空管，抽真空管的下端延伸至外箱的内腔下部，所述外箱的内腔设有薄膜卷，且薄膜卷上缠绕有薄膜，所述薄膜的另一端依次绕过清洁组件、两个转向辊和冷却组件并缠绕在薄膜收卷辊上，两个所述转向辊、薄膜卷和薄膜收卷辊均转动安装在外箱的内腔后壁上，所述薄膜收卷辊的后端到达外箱的外腔并安装在伺服电机的输出端上，且伺服电机通过支架固定安装在外箱的后壁上，所述外箱的内腔下部设有蒸镀装置；所述蒸镀装置包括安装可拆卸安装的蒸镀箱和箱盖，所述蒸镀箱固定安装在外箱的内底壁上，且蒸镀箱的内底壁上固定安装有加热组件，所述箱盖的内壁上转动安装有多个转动轴，且转动轴上固定套设有翻转盖板，所述转动轴的后端到达箱盖的外部并安装有链轮，多个所述链轮通过链条传动连接，其中一个所述链轮上同轴安装有从动齿轮，且从动齿轮啮合有直齿条上端的齿牙，所述直齿条的一端到达安装套筒的内腔并安装有永磁铁，所述永磁铁滑动安装在安装套筒的内腔，且安装套筒固定安装在箱盖的后壁上，所述永磁铁远离直齿条的一侧通过伸缩弹簧连接有电磁铁，且电磁铁固定安装在安装套筒的内壁上。