[发明专利]一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备

权利要求书

1.一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，包括外箱、外箱下端安装的多个支撑脚和外箱前壁上安装的箱门，其特征在于，所述外箱的上端安装有抽真空机，且抽真空机的输入端上安装有抽真空管，抽真空管的下端延伸至外箱的内腔下部，所述外箱的内腔设有薄膜卷，且薄膜卷上缠绕有薄膜，所述薄膜的另一端依次绕过清洁组件、两个转向辊和冷却组件并缠绕在薄膜收卷辊上，两个所述转向辊、薄膜卷和薄膜收卷辊均转动安装在外箱的内腔后壁上，所述薄膜收卷辊的后端到达外箱的外腔并安装在伺服电机的输出端上，且伺服电机通过支架固定安装在外箱的后壁上，所述外箱的内腔下部设有蒸镀装置；

所述蒸镀装置包括安装可拆卸安装的蒸镀箱和箱盖，所述蒸镀箱固定安装在外箱的内底壁上，且蒸镀箱的内底壁上固定安装有加热组件，所述箱盖的内壁上转动安装有多个转动轴，且转动轴上固定套设有翻转盖板，所述转动轴的后端到达箱盖的外部并安装有链轮，多个所述链轮通过链条传动连接，其中一个所述链轮上同轴安装有从动齿轮，且从动齿轮啮合有直齿条上端的齿牙，所述直齿条的一端到达安装套筒的内腔并安装有永磁铁，所述永磁铁滑动安装在安装套筒的内腔，且安装套筒固定安装在箱盖的后壁上，所述永磁铁远离直齿条的一侧通过伸缩弹簧连接有电磁铁，且电磁铁固定安装在安装套筒的内壁上；

所述外箱的内腔中部固定安装有隔温结构，且隔温结构位于两个转向辊之间，所述隔温结构包括两个上下平行设置的隔温板，且两个隔温板之间设有聚氨酯填充物，所述隔温板固定安装在外箱的内壁上；

所述冷却组件包括设置在隔温结构上端的水冷板，且水冷板位于薄膜的下方，所述水冷板为内部中空结构，且水冷板的后端贯通连接有两个连接水管，所述连接水管的上端贯通连接有冷却液箱，且冷却液箱固定插设在外箱的顶壁上，其中一个所述连接水管上安装有水泵。

2.如权利要求1所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其特征在于：所述蒸镀箱的内腔安装有温度感应器，且蒸镀箱的外壁上设有滑动变阻器，所述滑动变阻器与加热组件电性连接。

3.如权利要求1所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其特征在于：所述冷却液箱的上端贯通连接有多个冷却弯管，所述冷却液箱的内腔固定安装有隔板，且隔板将冷却液箱分为冷却腔和液体腔，所述隔板上开设有连接冷却腔和液体腔的通孔，两个所述连接水管的上端分别与冷却腔和液体腔贯通连接。

4.如权利要求1所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其特征在于：所述箱门上设有两个观察窗，且两个观察窗分别位于薄膜卷和薄膜收卷辊处。

5.如权利要求1所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其特征在于：所述翻转盖板的数量多于等于8个，且多个翻转盖板呈平行等距设置。

6.如权利要求1所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其特征在于：所述清洁组件包括转动安装在薄膜下端面的清洁辊，所述清洁辊的后端到达外箱的外部并安装有转动齿轮，且转动齿轮啮合有主动齿轮，所述主动齿轮同轴连接有第一带轮，且第一带轮转动安装在外箱的后壁上，所述第一带轮通过传动皮带连接有第二带轮，且第二带轮固定套设在伺服电机的输出端上。

7.如权利要求1所述的一种薄膜电容器加工用金属薄膜蒸镀设备，其特征在于：所述箱门上安装有控制面板，且控制面板上设有显示屏和控制按钮，控制面板内置有PLC控制器。