[发明专利]一种激光退火装置有效
| 申请号： | 201910364335.4 | 申请日： | 2019-04-30 |
| 公开（公告）号： | CN110064839B | 公开（公告）日： | 2020-03-17 |
| 发明（设计）人： | 周伟;许凯迪;苏海业;黄元昊;罗闻 | 申请（专利权）人： | 上海微电子装备(集团)股份有限公司 |
| 主分类号： | H01L21/268 | 分类号： | H01L21/268;B23K26/00;B23K26/06;C03B25/00;C21D1/26;C21D1/34;C21D11/00 |
| 代理公司： | 北京品源专利代理有限公司 11332 | 代理人： | 孟金喆 |
| 地址： | 201203 上海市浦*** | 国省代码： | 上海;31 |
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| 摘要： | 本发明实施例公开了一种激光退火装置，包括：控制模块；激光光束发生模块，激光光束发生模块与控制模块电连接，用于根据控制模块输出的激光控制信号产生第一激光光束；激光光束调整模块，激光光束调整模块与控制模块电连接，用于根据控制模块输出的可动机构参数对第一激光光束的激光强度分布进行调整以转换为第二激光光束；光学模块，光学模块用于对第二激光光束进行汇聚以在对应设置的衬底上形成与激光控制信号对应的光斑。本发明实施例中，无论激光器输出的光束质量如何变化，均不会对第一激光光束产生影响，也不会给工艺带来不确定的影响；无需频繁调节激光器的产率，保证了激光器产率最大化利用。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 激光 退火 装置 | ||
【主权项】：
1.一种激光退火装置，包括：控制模块，激光光束发生模块和光学模块，其特征在于，还包括：激光光束调整模块；所述激光光束发生模块与所述控制模块电连接，用于根据所述控制模块输出的激光控制信号产生第一激光光束；所述激光光束调整模块与所述控制模块电连接，用于根据所述控制模块输出的可动机构参数对所述第一激光光束的激光强度分布进行调整以转换为第二激光光束；所述光学模块用于对所述第二激光光束进行汇聚以在对应设置的衬底上形成与所述激光控制信号对应的光斑。
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H01 基本电气元件
H01L 半导体器件；其他类目中不包括的电固体器件
H01L21-00 专门适用于制造或处理半导体或固体器件或其部件的方法或设备
H01L21-02 .半导体器件或其部件的制造或处理
H01L21-64 .非专门适用于包含在H01L 31/00至H01L 51/00各组的单个器件所使用的除半导体器件之外的固体器件或其部件的制造或处理
H01L21-66 .在制造或处理过程中的测试或测量
H01L21-67 .专门适用于在制造或处理过程中处理半导体或电固体器件的装置；专门适合于在半导体或电固体器件或部件的制造或处理过程中处理晶片的装置
H01L21-70 .由在一共用基片内或其上形成的多个固态组件或集成电路组成的器件或其部件的制造或处理；集成电路器件或其特殊部件的制造
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