[发明专利]一种多晶硅原料的提纯工艺有效
申请号: | 201910342221.X | 申请日: | 2019-04-26 |
公开(公告)号: | CN110156026B | 公开(公告)日: | 2020-09-04 |
发明(设计)人: | 田先瑞;赵云松 | 申请(专利权)人: | 新疆大全新能源股份有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 王伟锋;张小勇 |
地址: | 832000 新疆维吾尔自治区石*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | 本发明为一种多晶硅原料的提纯工艺。一种多晶硅原料的提纯工艺,包括以下步骤:将多晶硅生产中尾气回收工序中吸附塔的反吹氢气加压后,与冷氢化反应尾气进入冷氢化工序的急冷塔,急冷塔采用自身循环;所述的反吹氢气中的含磷化合物,与冷氢化反应尾气、塔釜液中的含硼化合物、金属杂质,在急冷塔中充分接触,进行络合;急冷塔顶部出来的气相经过初步冷凝后,冷凝液去精馏提纯;其中,所述的塔釜液为冷氢化产品。本发明所述的一种多晶硅原料的提纯工艺,通过络合的形式减少多晶硅生产液相原料中的B、P杂质含量,使得后期精馏工序中,可以降低精馏塔级数、降低能耗、减少吸附剂用量,且在现有设备的基础上实现,操作简单,投资低、成本低。 | ||
搜索关键词: | 一种 多晶 原料 提纯 工艺 | ||
【主权项】:
1.一种多晶硅原料的提纯工艺,其特征在于,包括以下步骤:将多晶硅生产中尾气回收工序中吸附塔的反吹氢气加压后,与冷氢化反应尾气进入冷氢化工序的急冷塔,急冷塔采用自身循环;所述的反吹氢气中的含磷化合物,与冷氢化反应尾气、塔釜液中的含硼化合物、金属杂质,在急冷塔中充分接触,进行络合;急冷塔顶部出来的气相经过初步冷凝后,冷凝液去精馏提纯;其中,所述的塔釜液为冷氢化产品。
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