[发明专利]一种多晶硅原料的提纯工艺有效
申请号: | 201910342221.X | 申请日: | 2019-04-26 |
公开(公告)号: | CN110156026B | 公开(公告)日: | 2020-09-04 |
发明(设计)人: | 田先瑞;赵云松 | 申请(专利权)人: | 新疆大全新能源股份有限公司 |
主分类号: | C01B33/107 | 分类号: | C01B33/107 |
代理公司: | 北京鼎佳达知识产权代理事务所(普通合伙) 11348 | 代理人: | 王伟锋;张小勇 |
地址: | 832000 新疆维吾尔自治区石*** | 国省代码: | 新疆;65 |
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摘要: | |||
搜索关键词: | 一种 多晶 原料 提纯 工艺 | ||
1.一种多晶硅原料的提纯工艺,其特征在于,包括以下步骤:
将多晶硅生产中尾气回收工序中吸附塔的反吹氢气加压后,与冷氢化反应尾气进入冷氢化工序的急冷塔,急冷塔采用自身循环;所述的反吹氢气中的含磷化合物,与冷氢化反应尾气、塔釜液中的含硼化合物、金属杂质,在急冷塔中充分接触,进行络合;
急冷塔顶部出来的气相经过初步冷凝后,冷凝液去精馏提纯;
其中,所述的塔釜液为冷氢化产品,其主成分为氯硅烷,还含有含硼化合物和金属杂质;
所述的急冷塔采用自身循环指:所述的塔釜液由急冷塔中部进入,塔底部出来,再通过泵输送到塔中部。
2.根据权利要求1所述的提纯工艺,其特征在于,所述的反吹氢气加压到2.4-2.5MPaG。
3.根据权利要求1所述的提纯工艺,其特征在于,所述的初步冷凝过程中,未冷凝的气相返回到冷氢化工序。
4.根据权利要求1所述的提纯工艺,其特征在于,所述的提纯工艺中,急冷塔的温度为30-230℃。
5.根据权利要求1所述的提纯工艺,其特征在于,所述的急冷塔顶部出来的气相经过初步冷凝,部分冷凝液作为回流液进入急冷塔。
6.根据权利要求5所述的提纯工艺,其特征在于,所述的回流液从急冷塔上部进入。
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