[发明专利]一种闭环控制压电驱动在线监测装置有效
| 申请号： | 201910341893.9 | 申请日： | 2019-04-25 |
| 公开（公告）号： | CN110032116B | 公开（公告）日： | 2020-10-27 |
| 发明（设计）人： | 赵旸;杨晓晨;王涛 | 申请（专利权）人： | 中国科学技术大学 |
| 主分类号： | G05B19/042 | 分类号： | G05B19/042;G01D21/02 |
| 代理公司： | 北京集佳知识产权代理有限公司 11227 | 代理人： | 古利兰;王宝筠 |
| 地址： | 230026 安*** | 国省代码： | 安徽;34 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种闭环控制压电驱动在线监测装置，压电驱动装置通过电压源提供的周期性的电压信号产生位移，以驱动样品台上的样品；位移测量装置用于测量样品台上样品的位移；力和位移控制装置用于控制压电驱动装置的位移量；力测量装置用于测量样品台上样品的机械力；单片机用于对位移测量装置采集的位移量和力测量装置采集的机械力进行模数转换；在线监测系统用于存储单片机发送的监测数据。本发明能够解决压电驱动装置位置控制精度问题，实现位置移动的闭环控制，实现在线监测压电驱动装置的位移，实现在线监测样品的机械力，实现远端客户端对数据实时监控，以便与其余精密机械协同工作。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 闭环控制 压电 驱动 在线 监测 装置 | ||
【主权项】：
1.一种闭环控制压电驱动在线监测装置，其特征在于，包括：电压源、压电驱动装置、样品台、位移测量装置、力和位移控制装置、力测量装置、单片机和在线监测系统；其中：所述压电驱动装置与所述电压源相连，通过所述电压源提供的周期性的电压信号产生位移，以驱动与所述压电驱动装置相连的样品台上的样品；所述位移测量装置与所述样品台相连，用于测量所述样品台上样品的位移；所述力和位移控制装置分别与所述单片机和所述电压源相连，用于控制所述压电驱动装置的位移量；所述力测量装置与所述样品台相连，用于测量所述样品台上样品的机械力；所述单片机与所述位移测量装置和所述力测量装置相连，用于对所述位移测量装置采集的位移量和所述力测量装置采集的机械力进行模数转换；所述在线监测系统与所述单片机相连，用于存储所述单片机发送的监测数据。
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