[发明专利]一种终点检测方法、系统及化学机械抛光装置有效
| 申请号： | 201910335847.8 | 申请日： | 2019-04-24 |
| 公开（公告）号： | CN110394728B | 公开（公告）日： | 2021-03-16 |
| 发明（设计）人： | 赵德文;路新春 | 申请（专利权）人： | 清华大学;华海清科股份有限公司 |
| 主分类号： | B24B37/013 | 分类号： | B24B37/013;B24B37/04;H01L21/67 |
| 代理公司： | 暂无信息 | 代理人： | 暂无信息 |
| 地址： | 100084*** | 国省代码： | 北京;11 |
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| 摘要： | 本发明适用于化学机械抛光技术领域，提供了一种终点检测方法、系统及化学机械抛光装置，其中方法包括在晶圆抛光期间：获取抛光盘的运行参数；消除所述运行参数的波动影响以得到归一化的摩擦因子；根据所述摩擦因子确定抛光终点。本发明提高了在化学机械抛光过程中进行终点检测的准确率，有效地保证了抛光质量。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 终点 检测 方法 系统 化学 机械抛光 装置 | ||
【主权项】：
1.一种终点检测方法，其特征在于，在晶圆抛光期间：获取抛光盘的运行参数；消除所述运行参数的波动影响以得到归一化的摩擦因子；根据所述摩擦因子确定抛光终点。
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