[发明专利]一步法生产超净高纯微电子级过氧化氢的生产工艺

摘要

本发明涉及一种一步法生产超净高纯微电子级过氧化氢的生产工艺，包括将H₂O₂原料用泵输送至树脂塔内进行物理法离子交换进行提纯净化、此工艺步骤循环进行四次步骤，得到超净高纯微电子级H₂O₂，该生产工艺在运行时运行压力控制在0.5‑1.5Mpa，温度控制在3‑42℃。与现有生产提纯净化技术相比，本发明生产工艺及设计合理简单，成本低，所生产的H₂O₂纯度高，产品净化后，质量可以达到1ppb以上的产品。

主权项

1.一步法生产超净高纯微电子级过氧化氢的生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：第一步：将原料储罐中含杂质较多的工业级原料H₂O₂水溶液，通过动力输送泵进入第一树脂塔；第二步：在所述第一树脂塔中进行初级提纯净化，去除50％左右的金属阳离子和阴离子以及杂质；将去除50％的原料H₂O₂液体通过第一树脂塔的动力压力、将提纯净化后的原料液体流入第二树脂塔内，进行阴阳离子和杂质的去除净化，经第二树脂塔的提纯净化，可以去除原料中的50％金属阴阳离子和杂质；然后通过第二树脂塔的自身运行压力，将第二树脂塔内的原料液体通过自身的压力，流入第三树脂塔内，进行阴阳离子和杂质的提纯净化后，再将第三树脂塔内的液体、通过自身的压力，流入第四树脂塔内进行最后一道提纯净化；第三步：将原料液体中剩余的微量金属阴阳离子和杂质去除干净后，通过第四树脂塔内的压力，所述原料液体流入膜分离系统，经过膜分离系统滤除0.2μm尘埃颗粒杂质后，再流入成品接收储罐，整个提纯净化的生产工艺流程结束；得到超净高纯微电子级H₂O₂的高质量产品，产品质量达到0.5ppb质量级别。