[发明专利]一步法生产超净高纯微电子级过氧化氢的生产工艺

权利要求书

1.一步法生产超净高纯微电子级过氧化氢的生产工艺，其特征在于，包括以下步骤：

第一步：将原料储罐中含杂质较多的工业级原料H₂O₂水溶液，通过动力输送泵进入第一树脂塔；

第二步：在所述第一树脂塔中进行初级提纯净化，去除50％左右的金属阳离子和阴离子以及杂质；

将去除50％的原料H₂O₂液体通过第一树脂塔的动力压力、将提纯净化后的原料液体流入第二树脂塔内，进行阴阳离子和杂质的去除净化，经第二树脂塔的提纯净化，可以去除原料中的50％金属阴阳离子和杂质；

然后通过第二树脂塔的自身运行压力，将第二树脂塔内的原料液体通过自身的压力，流入第三树脂塔内，进行阴阳离子和杂质的提纯净化后，再将第三树脂塔内的液体、通过自身的压力，流入第四树脂塔内进行最后一道提纯净化；

第三步：将原料液体中剩余的微量金属阴阳离子和杂质去除干净后，通过第四树脂塔内的压力，所述原料液体流入膜分离系统，经过膜分离系统滤除0.2μm尘埃颗粒杂质后，再流入成品接收储罐，整个提纯净化的生产工艺流程结束；

得到超净高纯微电子级H₂O₂的高质量产品，产品质量达到0.5ppb质量级别。

2.根据权利要求1所述的一步法生产超净高纯微电子级过氧化氢的生产工艺，其特征在于，整个生产过程采用一步法生产工艺，上述生产工艺过程的运行压力控制在0.5-1.5Mpa，温度控制在3-42℃。

3.根据权利要求2所述的一步法生产超净高纯微电子级过氧化氢的生产工艺，其特征在于，所述原料H₂O₂水溶液的浓度为27.5-35％。

4.根据权利要求2所述的一步法生产超净高纯微电子级过氧化氢的生产工艺，其特征在于，工作液流速控制在400L/h-500L/h。

5.根据权利要求2所述的一步法生产超净高纯微电子级过氧化氢的生产工艺，其特征在于，所述原料H₂O₂水溶液在树脂塔中接触的是采用极少溶出杂质的高抗氧化氟树脂材料。