[发明专利]一种III-VI族异质结太阳能电池材料的制备方法有效
| 申请号： | 201910329408.6 | 申请日： | 2019-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN109898053B | 公开（公告）日： | 2020-11-03 |
| 发明（设计）人： | 萨百晟;孙媛;陈建辉;温翠莲;蔡书畅 | 申请（专利权）人： | 福州大学 |
| 主分类号： | C23C14/06 | 分类号： | C23C14/06;C23C14/34;H01L21/02;H01L31/0264;H01L31/072;H01L31/18 |
| 代理公司： | 福州元创专利商标代理有限公司 35100 | 代理人： | 蔡学俊 |
| 地址： | 350002 福*** | 国省代码： | 福建;35 |
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| 摘要： | 本发明公开了一种III‑VI族异质结太阳能电池材料的制备方法，其是将K9玻璃作为基片衬底作为阳极，以块体材料作为靶材放在阴极，在Ar气保护下于一定功率开始溅射沉积。溅射结束在基片衬底上沉积一层薄膜后，更换靶材材料，进行第二次沉积。最后将玻璃基片置于无水乙醇和去离子水中前后清洗去除杂质后，干燥即可得到所述的片状III‑VI族异质结太阳能电池材料。本发明具有制备工艺简单，可重复性强，成品率高，成本低等优点，从而可用于太阳能电池电极材料，促进能源问题的解决。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 iii vi 族异质结 太阳能电池 材料 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种III‑VI族异质结太阳能电池材料的制备方法，其特征在于：包括以下步骤：（1）取一定大小的K9玻璃作为基片衬底，用加清洁剂的去离子水清洗干净之后，依次用丙酮、无水乙醇、去离子水各超声清洗10min，然后烘干；（2）将K9玻璃基片放在沉积室内的阳极上，对应的块体材料InS或GaSe作为靶材放在阴极上，两者之间相距70～80mm；（3）将沉积室抽真空至5～10×10‑3Pa后，加入高纯度的Ar气作为溅射气体使腔室内压力稳定在1～5Pa，Ar气体流量设定为30～40mL/min;（4）开冷却水，然后开始溅射沉积，设定溅射功率50～150W，电源电压50～100V；（5）溅射结束后，自然冷却并开启阀门，更换块体材料GaTe作为靶材；（6）重复步骤(3)～(4),直至沉积结束；（7）将玻璃基片取出放在无水乙醇和去离子水中前后清洗去除杂质后，于60～80℃下干燥3～5小时，即可得到InS/GaTe或GaSe/GaTe异质结太阳能电池材料。
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