[发明专利]带透明导电膜基板及其制造设备和方法以及太阳能电池

摘要

本发明公开带透明导电膜基板及其制造设备和方法以及太阳能电池。该带透明导电膜基板具备对载置于托盘的状态下的基体进行热处理的第三调温装置、以及对基体的正面侧及背面侧分别形成第一透明导电膜及第二透明导电膜的第一成膜装置及第二成膜装置。在成膜室内的第一靶附近，第一工艺气体导入机构的气体导出部在基体的移动方向上配设在朝向第一靶中的位于左侧的靶喷射第一工艺气体的位置上。在成膜室内的第二靶附近，配设有第二工艺气体导入机构的气体导出部。第一靶和第二靶配置在成膜室内，从而在基体经过第一靶的前面时通过溅射法对基体的正面侧形成第一透明导电膜，在基体经过第二靶的前面时通过溅射法对基体的背面侧形成第二透明导电膜。

主权项

1.一种带透明导电膜基板的制造设备，包括具备第三调温装置和第一成膜装置及第二成膜装置的成膜室，所述第三调温装置对载置于托盘的状态下的基体进行热处理，所述第一成膜装置及所述第二成膜装置对所述基体的正面侧及背面侧分别形成第一透明导电膜及第二透明导电膜，其中，在所述成膜室内的、构造所述第一成膜装置且对所述基体的正面侧形成第一透明导电膜的第一靶附近，用于供给含氢的第一工艺气体的第一工艺气体导入机构的气体导出部在所述基体的移动方向上配设在对所述第一靶中的位于左侧的靶喷射所述第一工艺气体的位置上，在所述成膜室内的、构造所述第二成膜装置且对所述基体的背面侧形成第二透明导电膜的第二靶附近，配设有供给不含氢的第二工艺气体的第二工艺气体导入机构的气体导出部，所述第一靶和所述第二靶配置在所述成膜室内，从而在所述基体经过所述第一靶的前面时，通过溅射法对该基体的正面侧形成所述第一透明导电膜，并且在所述基体经过所述第二靶的前面时，通过溅射法对该基体的背面侧形成所述第二透明导电膜。