[发明专利]带透明导电膜基板及其制造设备和方法以及太阳能电池

权利要求书

1.一种带透明导电膜基板的制造设备，包括具备第三调温装置和第一成膜装置及第二成膜装置的成膜室，所述第三调温装置对载置于托盘的状态下的基体进行热处理，所述第一成膜装置及所述第二成膜装置对所述基体的正面侧及背面侧分别形成第一透明导电膜及第二透明导电膜，其中，

在所述成膜室内的、构造所述第一成膜装置且对所述基体的正面侧形成第一透明导电膜的第一靶附近，用于供给含氢的第一工艺气体的第一工艺气体导入机构的气体导出部在所述基体的移动方向上配设在对所述第一靶中的位于左侧的靶喷射所述第一工艺气体的位置上，

在所述成膜室内的、构造所述第二成膜装置且对所述基体的背面侧形成第二透明导电膜的第二靶附近，配设有供给不含氢的第二工艺气体的第二工艺气体导入机构的气体导出部，

所述第一靶和所述第二靶配置在所述成膜室内，从而在所述基体经过所述第一靶的前面时，通过溅射法对该基体的正面侧形成所述第一透明导电膜，并且在所述基体经过所述第二靶的前面时，通过溅射法对该基体的背面侧形成所述第二透明导电膜。

2.根据权利要求1所述的带透明导电膜基板的制造设备，其中，

在所述成膜室中，以连通位于所述第一靶与所述第二靶之间的内部空间的方式配置有一个以上的具备吸气口的排气装置。

3.根据权利要求1所述的带透明导电膜基板的制造设备，其中，

所述托盘具备用于露出所述基体的正面和背面的开口部及支撑该基体的侧面的部位，在所述成膜室内，多个该托盘沿该托盘的行进方向直线排列配设，并且多个该托盘中的特定托盘具有在经过所述第一靶和所述第二靶的前面时在该特定托盘的行进方向上与位于所述特定托盘的前后的先行托盘和后行托盘分别重叠的部位，在从所述第一靶侧或所述第二靶侧观察所述特定托盘时，所述特定托盘与位于该特定托盘的前后的先行托盘及后行托盘形成一组，并且所述制造设备具备以先行托盘和后行托盘夹着特定托盘形成同一面的方式控制各托盘的移动的装置。

4.根据权利要求1所述的带透明导电膜基板的制造设备，其中，

在所述成膜室内的、位于所述基体经过所述第一靶和所述第二靶的前面之前的位置上的内部空间及位于经过各靶的前面而进行成膜的位置上的内部空间，每个内部空间均配置有一个以上的所述第三调温装置。

5.根据权利要求1所述的带透明导电膜基板的制造设备，其中，

在所述成膜室内，用于供给所述含氢的第一工艺气体的第一工艺气体导入机构的气体导出部配设在朝向放电空间喷射该第一工艺气体的位置上，所述放电空间产生在构造所述第一成膜装置且对所述基体的正面侧形成第一透明导电膜的第一靶与移动的所述基体之间。

6.根据权利要求1所述的带透明导电膜基板的制造设备，其中，

在所述成膜室内，以包围放电空间的方式配设有烟道，所述放电空间产生在构造所述第一成膜装置且对所述基体的正面侧形成第一透明导电膜的第一靶与移动的所述基体之间。

7.根据权利要求5所述的带透明导电膜基板的制造设备，其中，

在所述成膜室内，以包围放电空间的方式配设有烟道，所述放电空间产生在构造所述第一成膜装置且对所述基体的正面侧形成第一透明导电膜的第一靶与移动的所述基体之间。

8.根据权利要求1～7中的任一项所述的带透明导电膜基板的制造设备，其中，

在所述成膜室的前段具备具有第一调温装置的装入室和具有第二调温装置的加热室，所述第一调温装置在减压气氛中对从大气气氛导入且处于载置于托盘的状态且在正面及背面配设有a-Si的基体进行热处理，所述第二调温装置对从所述装入室移动来的托盘和基体进行热处理，

在所述成膜室的后段具备运送室和取出室，所述运送室对从所述成膜室移动来的托盘和基体进行冷却，所述取出室将从所述运送室移动来的托盘和基体从减压气氛导出到大气气氛中。