[发明专利]一种阵列式窄带滤光片及其制备方法有效
| 申请号： | 201910325922.2 | 申请日： | 2019-04-23 |
| 公开（公告）号： | CN110007386B | 公开（公告）日： | 2020-10-13 |
| 发明（设计）人： | 高劲松;高劲柏;王笑夷;杨海贵;刘海;王延超 | 申请（专利权）人： | 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 |
| 主分类号： | G02B5/20 | 分类号： | G02B5/20;G02B5/18;G02B5/00;C23C14/35;C23C14/30;C23C14/18;C23C14/04 |
| 代理公司： | 深圳市科进知识产权代理事务所(普通合伙) 44316 | 代理人： | 曹卫良 |
| 地址： | 130033 吉林省长春*** | 国省代码： | 吉林;22 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种阵列式窄带滤光片，包括基底和相互杂化嵌套在基底上的第一光栅和第二光栅，第一光栅和第二光栅构成等离激元复合光栅，等离激元复合光栅周期为第一光栅和第二光栅的宽度之和；第一光栅沿着基底由下而上依次包括底部金属层、介质层、顶部金属层，第二光栅沿着基底由下而上依次包括介质层、顶部金属层，本发明的滤光片解决了现有等离激元滤光片高透射和窄线宽难以兼顾和较差带外抑制的问题；本发明还提供了一种阵列式窄带宽滤光片制备方法，利用该制备方法制备的滤光片具有低成本，窄线宽，弱旁峰和小型化等优异特性，在生物化学传感、气焰检测、多光谱成像等方面具有极高的应用前景和价值。 | ||
| 搜索关键词： | 一种 阵列 窄带 滤光 及其 制备 方法 | ||
【主权项】：
1.一种阵列式窄带滤光片，其特征在于，包括基底和相互杂化嵌套在基底上的第一光栅和第二光栅，所述第一光栅和第二光栅构成等离激元复合光栅，所述等离激元复合光栅周期为第一光栅和第二光栅的宽度之和；所述第一光栅沿着基底由下而上依次包括底部金属层、介质层、顶部金属层，所述第二光栅沿着基底由下而上依次包括介质层、顶部金属层。
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