[发明专利]一种回收溅射靶材的清洗方法在审
| 申请号： | 201910322743.3 | 申请日： | 2019-04-22 |
| 公开（公告）号： | CN109930162A | 公开（公告）日： | 2019-06-25 |
| 发明（设计）人： | 张瑾;大岩一彦;姚科科;广田二郎;周建波;叶翔 | 申请（专利权）人： | 宁波锦越新材料有限公司 |
| 主分类号： | C23G3/00 | 分类号： | C23G3/00 |
| 代理公司： | 宁波知坤专利代理事务所(特殊普通合伙) 33312 | 代理人： | 朱玉泉;邹艳霜 |
| 地址： | 315000 浙江省宁波市北仑*** | 国省代码： | 浙江;33 |
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| 摘要： | 本发明涉及一种回收溅射靶材的清洗方法，步骤一、使用磨床将旧的溅射铝靶材面板（1）和背板（2）进行分离；步骤二、将分离出的溅射铝靶材面板（1）置于酸溶液的容器中，所述酸溶液的质量浓度为10%‑75%；步骤三、溶解结束后，取出溅射铝靶材面板（1），再浸入氢氧化钠溶液，对靶材表面酸溶液进去中和处理；所述氢氧化钠溶液的质量浓度为10‑20%；步骤四、酸碱中和完成后，取出溅射铝靶材面板（1）浸入纯水中；步骤五、从纯水中取出，肉眼观察是否有残存附着物；步骤六、附着物没有的情况下在温室内进行干燥，最终可获取干净的铝靶材。 | ||
| 搜索关键词： | 铝靶材 溅射 酸溶液 氢氧化钠溶液 附着物 浸入 取出 溅射靶材 水中 清洗 磨床 酸碱中和 中和处理 回收 背板 对靶 溶解 温室 | ||
【主权项】：
1.一种回收溅射靶材的清洗方法，包括以下步骤：步骤一、使用磨床将旧的溅射铝靶材面板（1）和背板（2）进行分离；步骤二、将分离出的溅射铝靶材面板（1）置于酸溶液的容器中，所述酸溶液的质量浓度为10%‑75%；步骤三、溶解结束后，取出溅射铝靶材面板（1），再浸入氢氧化钠溶液，对靶材表面酸溶液进去中和处理；所述氢氧化钠溶液的质量浓度为10‑20%；步骤四、酸碱中和完成后，取出溅射铝靶材面板（1）浸入纯水中；步骤五、从纯水中取出，肉眼观察是否有残存附着物；步骤六、附着物没有的情况下在温室内进行干燥，最终可获取干净的铝靶材。
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